在热蒸发中，真空是必不可少的，主要有两个原因：它允许蒸发材料直接传输到基板而不会与其他分子碰撞，并且它能去除会破坏沉积薄膜质量和附着力的污染物。这种受控的、洁净的环境是整个过程的基础。
真空的核心目的不仅仅是去除空气，而是为从源头传输到靶材的原子创造一条畅通无阻的直线路径。这确保了所得薄膜是均匀、纯净的，并牢固地附着在基板上。
沉积的物理学：为什么真空是不可或缺的
热蒸发的工作原理是通过加热源材料直到其原子汽化。这些汽化的原子然后穿过腔室并凝结在较冷的基板上，形成薄膜。真空使得这次传输成功成为可能。
实现无碰撞传输
真空最关键的功能是增加蒸发原子的平均自由程。
平均自由程是粒子在与另一个粒子碰撞之前可以行进的平均距离。在正常大气压下，这个距离非常短，以纳米为单位。
通过将腔室抽真空至高真空——通常在 10⁻⁵ 至 10⁻⁷ 托（Torr）范围内——残留气体分子（如氮气和氧气）的数量会急剧减少。
这使得平均自由程延长到一米或更长。由于从源到基板的距离远小于此，蒸发原子可以直线传播，确保它们到达基板时没有发生散射。
防止污染和薄膜质量不佳
真空的第二个关键功能是创造一个超洁净的环境。腔室中任何残留的气体分子都是污染物。
这些污染物会导致几个问题：
- 化学反应：像氧气这样的活性气体可能会在飞行途中或在基板表面与热蒸发的原子发生反应，在薄膜中形成不需要的氧化物和杂质。
- 附着力差：基板表面上的污染物可能会阻止蒸发原子正确键合，导致薄膜容易剥落或碎裂。
- 结构不一致：混入薄膜中的不需要的分子会破坏其晶体或非晶结构，从而对其光学、电学或机械性能产生负面影响。
真空不足的后果
未能达到必要的真空水平会直接损害沉积过程，并使结果对大多数应用来说都无法使用。了解这些失效模式突显了真空的重要性。
原子散射和不均匀性
如果压力过高，平均自由程就会太短。蒸发的原子会与气体分子碰撞，并向随机方向散射。
这阻碍了均匀涂层所需的“视线”沉积。所得薄膜的厚度将不一致，并且可能无法均匀覆盖基板。
薄膜杂质
如果没有适当的真空，沉积环境就是“脏的”。蒸汽流将是源材料和残留大气气体的混合物。
最终的薄膜将含有大量的氧化物、氮化物和其他化合物杂质，从而改变其基本性质。对于电子或光学应用来说，这种程度的杂质是不可接受的。
附着力弱和薄膜不稳定
真空不良会在基板表面留下吸附的气体分子层。这一层充当屏障，阻止沉积的原子与基板形成牢固、稳定的键合。
结果是薄膜附着力弱，并随着时间的推移容易分层或机械失效。
应用于您的目标
所需的真空水平与您薄膜所需的质量直接相关。您的具体应用将决定您如何处理这个关键参数。
- 如果您的主要重点是用于电子或光学的高纯度薄膜：您必须达到高真空或超高真空（10⁻⁶ 托或更低）以最大限度地减少污染并确保可预测的材料性能。
- 如果您的主要重点是保护性或装饰性涂层：中等高真空（约 10⁻⁵ 托）可能就足够了，因为轻微的杂质不太可能影响薄膜的主要功能。
- 如果您正在对附着力差的过程进行故障排除：真空度不足或腔室污染是最可能需要调查的根本原因之一。
最终，通过真空控制腔室环境是控制沉积结果的关键。
摘要表：
| 真空功能 | 关键益处 | 典型压力范围 |
|---|---|---|
| 增加平均自由程 | 实现直线、均匀的沉积 | 10⁻⁵ 至 10⁻⁷ 托 |
| 去除污染物 | 防止氧化并确保薄膜纯度 | 10⁻⁶ 托或更低（高纯度要求） |
| 创造洁净的基板表面 | 促进牢固的薄膜附着力 | 因应用而异 |
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