防止真空泄漏对于保持真空系统的效率和使用寿命至关重要。
防止真空泄漏的 7 个基本策略
1.确保正确的制造和装配
最关键的一步是在制造过程中严格测量形状和尺寸。
这可确保各部件完美配合,降低泄漏的可能性。
2.气密性测试
定期检测气流系统的气密性(包括法兰安装状态)至关重要。
可以使用氦气检漏仪或残余气体分析仪来查找肉眼无法看到的微小泄漏。
3.密封化合物的维护和更换
跟踪以前的泄漏位置并更换临时密封化合物至关重要。
这种积极主动的方法可最大限度地减少未来的问题,并防止意外的设备停机。
4.使用惰性气体
使用惰性气体吹扫气流系统有助于防止泄漏和污染。
这对于处理活性材料的系统尤为重要。
5.减少放气
在抽真空之前进行干燥处理可最大限度地减少放气。
高真空系统需要带有金属垫圈密封的金属腔体,这比低真空系统中使用的橡胶垫圈更可靠。
系统必须保持清洁和无有机物,以进一步减少放气。6.优化抽气效率 对于关键应用,必须将泄漏率保持在 5 微米/小时以下。