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防止真空泄漏对于保持真空系统的效率和使用寿命至关重要。
最关键的一步是在制造过程中严格测量形状和尺寸。
2.气密性测试
可以使用氦气检漏仪或残余气体分析仪来查找肉眼无法看到的微小泄漏。
跟踪以前的泄漏位置并更换临时密封化合物至关重要。
4.使用惰性气体
这对于处理活性材料的系统尤为重要。
在抽真空之前进行干燥处理可最大限度地减少放气。
系统必须保持清洁和无有机物，以进一步减少放气。6.优化抽气效率 对于关键应用，必须将泄漏率保持在 5 微米/小时以下。
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