XRF 仪器主要有两种类型：能量色散 XRF 光谱仪 (ED-XRF) 和波长色散 XRF 光谱仪 (WD-XRF)。
能量色散 XRF 光谱仪 (ED-XRF) 的特点是简单易用。它们可以同时收集多种元素的信号，分辨率范围从 150 eV 到 600 eV。这类仪器适用于需要同时分析多种元素且分辨率适中的应用场合。
波长色散 XRF 光谱仪 (WD-XRF)波长色散 XRF 光谱仪（WD-XRF）则是使用测角仪从不同角度一次收集一个信号。这些仪器通常比 ED-XRF 更加复杂和昂贵，但分辨率却高得多，从 5 eV 到 20 eV 不等。较高的分辨率使 WD-XRF 适合于需要精确元素分析的应用，尤其是对次要元素或同位素的检测至关重要的应用。
这两种 XRF 仪器都广泛应用于水泥、金属矿石、矿石、石油和天然气、环境和地质应用等各个行业。在 ED-XRF 和 WD-XRF 之间做出选择取决于具体的分析要求、预算以及分析所需的精度水平。
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