检测真空系统中的泄漏对于保持运行效率和确保安全至关重要。采用各种方法，从简单的目视检查到氦泄漏检测和残余气体分析等先进技术。预防性维护也很重要，例如跟踪以前的泄漏位置和更换磨损的部件。可以在运行期间使用高温密封剂等临时解决方案，而在停机期间进行永久性修复，例如焊接破裂的部件或更换垫圈。方法的选择取决于系统的复杂性、泄漏的类型以及情况的紧急程度。
要点解释：
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氦泄漏检测 ：
- 氦检漏仪因其灵敏度和准确性而被广泛使用。该过程包括将氦气引入系统并使用质谱仪检测其在系统外部的存在，从而表明泄漏。
- 两种常见的技术是 吹气法 （抽空腔室并在外部施加氦气）和 吸嘴法 （用氦气填充测试对象并检测逸出的气体）。
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残余气体分析 (RGA) ：
- RGA 是一种分析真空系统中存在的气体的复杂方法。残余氧气或其他气体突然增加可能表明存在泄漏。
- 该方法对于识别复杂系统中的泄漏特别有用，因为在复杂系统中很难精确定位泄漏位置。
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正压泄漏检测 ：
- 该方法涉及对系统加压并使用分析仪测量气体浓度。残余氧气显着增加或氢气含量下降（低于 3%）可能表明存在泄漏。
- 移动式氢气检测仪通常用于验证可疑区域的气密性。
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目视和物理检查 ：
- 定期检查密封件、垫圈、阀门和热电偶等部件至关重要。老化或损坏的部件应及时更换。
- 使用塑料袋和氦气检查热电偶头是否泄漏等技术对于特定组件非常有效。
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临时和永久维修 ：
- 临时解决方案 ：系统运行时可以使用高温密封剂来密封泄漏。真空泥浆是紧急修复的另一种选择。
- 永久性维修 ：停机期间，应焊接裂纹部件，更换老化的垫圈和卡环，拧紧松动的螺钉。有技术问题的组件应立即更换。
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分段泄漏检测 ：
- 使用用于真空硅管的带孔盲板，可以隔离真空系统的各个部分并单独进行测试。此方法有助于缩小泄漏位置。
- 另一种有效的技术是向可疑泄漏点注入丙酮或乙醚并观察真空计读数的变化。
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预防性维护 ：
- 跟踪以前的泄漏位置并更换临时密封剂对于防止未来泄漏至关重要。
- 定期维护计划应包括检查和更换老化或损坏的部件，确保系统保持无泄漏。
通过结合这些方法，操作员可以有效地检测和解决真空系统中的泄漏，确保最佳性能和使用寿命。
汇总表：
| 方法 | 描述 |
|---|---|
| 氦泄漏检测 | 使用氦气和质谱仪以高灵敏度检测泄漏。 |
| 残余气体分析 (RGA) | 分析残留气体以识别复杂系统中的泄漏。 |
| 正压泄漏检测 | 对系统加压以测量气体浓度并检测泄漏。 |
| 目视和物理检查 | 定期检查密封件、垫圈和阀门以更换损坏的部件。 |
| 临时维修 | 高温密封剂或真空泥浆，用于运行过程中的紧急密封。 |
| 永久性维修 | 系统关闭期间焊接、更换垫圈和拧紧螺钉。 |
| 分段泄漏检测 | 隔离系统的各个部分以进行有针对性的泄漏检测。 |
| 预防性维护 | 跟踪以前的泄漏并更换老化的组件以防止将来出现问题。 |
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