要检测真空系统中的泄漏，特别是真空炉中的泄漏，需要采用多种方法。这些方法对于保持真空系统的完整性和效率至关重要，可确保泄漏率不超过可能影响真空炉性能的临界值。
注入检测法：
这种传统方法是先将炉子抽空，然后在炉外注入氦气，通常使用氦质谱仪。氦质谱仪可检测到通过泄漏进入真空系统的任何氦气，从而显示泄漏的存在和位置。这种方法非常有效，因为氦气是一种小分子，很容易从最微小的泄漏处渗入，使用质谱仪可以进行精确检测。喷嘴检测法：
这种方法适用于无法抽空的物体，如热交换器、水冷法兰和电气馈入件。要检测的物体充满泄漏指示气体，通常是氦气。然后使用传感器（通常是氦质谱仪）检查是否有气体泄漏。在无法直接使用真空的情况下，这种方法很有优势。
惰性气体泄漏检测：
惰性气体系统的完整性对真空炉也至关重要。检测惰性气体系统泄漏的常用方法包括薄膜（肥皂泡）法和真空检漏。肥皂泡法是在可疑区域涂上肥皂溶液，观察是否有气泡产生，如果有泄漏就会形成气泡。真空检漏包括监测系统中的压力上升率，以发现任何泄漏。预防性维护和监测：
定期的预防性维护和加工过程中对真空度的持续监控对于及时发现和解决泄漏问题至关重要。这包括定期检查真空馈入通道、泵、O 形环和法兰密封面。如果检测到泄漏，通常会用氮气回灌窑炉并重新测试。如果泄漏持续存在，则需要进行更广泛的维护，可能包括氦气泄漏检查。
