沉积是气体直接转化为固体的过程,跳过了液相。
这一过程被认为是升华的反向过程,升华是指固体不先变成液体而直接变成气体。
需要了解的 5 个要点
1.沉积技术
沉积技术有两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。
2.物理气相沉积 (PVD)
在 PVD 技术中,蒸气由原子和分子组成,它们凝结在基底上形成薄膜。
这可以通过真空蒸发等工艺实现,在真空蒸发过程中,固体材料变成蒸汽,然后凝结在基底上。
3.化学气相沉积(CVD)
化学气相沉积涉及蒸汽在基底上的化学反应,从而形成薄膜。
这一过程通常要求基底温度升高。
等离子体也可用于辅助该过程,从而降低基底温度。
CVD 过程的例子包括金属有机气相外延、热解、还原、氧化、化合物形成、歧化和可逆转移。
4.沉积方法的变化
沉积方法可根据所需的沉积层厚度和所涉及的特定材料而有所不同。
薄膜沉积涉及在表面上沉积单个原子或分子,通常用于厚度低于一微米的沉积层。
厚膜沉积处理的是颗粒沉积,通常涉及较厚的层。
5.沉积概述
总之,沉积是气体直接转化为固体的过程。
它可以通过物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)技术实现,具体取决于该过程主要由物理或化学转化驱动。
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