薄膜技术在各种高科技应用中至关重要,包括微电子设备、光学涂层和磁性存储介质。这些技术依靠高纯度材料和化学品来形成或改变薄膜沉积和基底。
薄膜技术的 5 个关键组成部分
1.前驱体气体
前驱气体在化学气相沉积(CVD)过程中至关重要。它们在基底表面发生反应,形成所需的薄膜材料。
2.溅射靶材
溅射靶材用于溅射,这是一种物理气相沉积(PVD)方法。用离子轰击目标材料,使原子喷射出来,在基底上沉积成薄膜。
3.蒸发丝
蒸发丝用于热蒸发工艺。这些丝加热并蒸发源材料,然后在基底上凝结成薄膜。
4.微电子器件
薄膜对半导体器件的制造至关重要。它们通过掺杂和分层提供必要的电特性。
5.光学镀膜
薄膜用于制造防反射涂层、镜子和其他光学元件。通过使用不同厚度和折射率的多层薄膜,可提高这些涂层的性能。
薄膜的应用和重要性
磁性存储介质
铁磁材料薄膜可用于硬盘驱动器和其他存储设备。
太阳能电池
薄膜太阳能电池,如用二硒化铜铟镓(CIGS)或碲化镉(CdTe)制成的电池,比传统的硅太阳能电池更轻、更灵活。
有机发光二极管(OLED)
有机发光二极管显示屏采用聚合物化合物薄膜,可用于智能手机、电视和其他电子设备。
沉积方法
化学气相沉积(CVD)
涉及前驱气体在基底表面的反应。
物理气相沉积 (PVD)
包括溅射和蒸发,将材料蒸发并沉积在基底上。
分子束外延(MBE)
一种在真空中蒸发材料的技术,可精确控制薄膜的成分和结构。
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