沉积速率是薄膜沉积工艺的一个重要方面。它衡量材料沉积到基底上的速度。
沉积速率的单位是什么?需要了解的 5 个要点
1.沉积速率的常用单位
沉积速率的单位通常用单位时间内的长度来表示。
2.纳米/秒 (nm/s)
一个常用单位是纳米/秒 (nm/s)。
3.微米/分钟 (μm/min)
另一个常用单位是微米/分钟(μm/min)。
4.计算沉积速率
沉积速率的计算公式为 ( R_{dep} ):[R_{dep} = A /times R_{sputter} ]。
5.薄膜沉积的重要性
沉积速率对于控制薄膜的厚度和均匀性至关重要。
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