知识 沉积率的单位是什么?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

沉积率的单位是什么?需要了解的 5 个要点

沉积速率是薄膜沉积工艺的一个重要方面。它衡量材料沉积到基底上的速度。

沉积速率的单位是什么?需要了解的 5 个要点

沉积率的单位是什么?需要了解的 5 个要点

1.沉积速率的常用单位

沉积速率的单位通常用单位时间内的长度来表示。

2.纳米/秒 (nm/s)

一个常用单位是纳米/秒 (nm/s)。

3.微米/分钟 (μm/min)

另一个常用单位是微米/分钟(μm/min)。

4.计算沉积速率

沉积速率的计算公式为 ( R_{dep} ):[R_{dep} = A /times R_{sputter} ]。

5.薄膜沉积的重要性

沉积速率对于控制薄膜的厚度和均匀性至关重要。

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