溅射是指使用物理气相沉积技术将材料薄膜沉积到表面的过程。这种技术是指在等离子体或气体环境中，通过高能粒子的轰击，从固体目标材料中喷射出微小颗粒。
答案摘要：
从物理学和技术的角度来看，溅射是指原子在高能粒子的轰击下从固体靶材料中喷射出来的一种方法。这种工艺用于在表面上沉积薄膜，对光学涂层、半导体器件和纳米技术产品的制造至关重要。
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详细解释：词源和原意：
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溅射 "一词源于拉丁语 "Sputare"，意思是 "嘈杂地吐出"。历史上，人们将其与唾液喷出的噪音联系在一起，这与颗粒从表面喷出的过程进行了粗略但恰当的类比。
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科学发展与应用：
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对溅射的科学理解和应用有了长足的发展。然而，其在工业中的实际应用在 20 世纪中叶开始凸显，尤其是 1970 年 Peter J. Clarke 开发出 "溅射枪 "之后。这一进步使材料能够在原子水平上精确可靠地沉积，从而彻底改变了半导体工业。溅射工艺：
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溅射工艺包括将基片置于充满惰性气体（通常为氩气）的真空室中。在目标源材料上施加负电荷，形成等离子体。等离子体中的离子被加速进入目标材料，从而侵蚀并喷射出中性粒子。这些粒子移动并沉积到基底上，形成薄膜。
工业和科学意义：
由于溅射能够沉积极细的材料层，因此被广泛应用于各行各业。它在精密部件、光学涂层、半导体器件和纳米技术产品的生产中至关重要。该技术因其蚀刻精度、分析能力和薄膜沉积而备受推崇。
