溅射是各种工业和实验室应用中的关键工艺，气体的选择对其成功与否起着重要作用。
溅射中使用什么气体？5 种关键气体解析
1.作为主要溅射气体的氩气
氩气是溅射中最常用的气体。
它是一种惰性气体，这意味着它不易与其他元素发生反应。
这种惰性对于保持靶材和沉积薄膜的完整性至关重要。
氩气还具有较高的溅射率，可提高沉积过程的效率。
氩气成本低，供应广泛，是许多应用的经济之选。
2.其他惰性气体的使用
氩气是最常用的气体，但偶尔也会使用氪（Kr）和氙（Xe）等其他稀有气体。
这些气体在溅射重元素时特别有用。
它们的原子量更接近于较重的目标材料，从而提高了溅射过程中动量传递的效率。
这对于获得具有所需特性的高质量薄膜至关重要。
3.使用氧气和氮气等气体进行反应溅射
在反应溅射中，氧气或氮气等非惰性气体与元素靶材料结合使用。
这些气体与溅射的原子发生化学反应，形成新的化合物作为涂层材料。
这种方法尤其适用于沉积氧化物或氮化物薄膜，这些薄膜在包括电子和光学在内的各种技术应用中至关重要。
4.溅射系统的配置和优化
可以根据薄膜沉积工艺的具体要求来选择溅射气体。
现代溅射系统具有很高的可配置性，允许对基片预热、原位清洁和使用多个阴极等参数进行调整。
这些调整有助于针对不同材料和应用优化沉积工艺。
5.溅射气体选择概述
溅射气体的选择取决于沉积过程的具体需求。
氩气因其惰性和其他有利特性而最为常见。
当需要特定的材料特性或反应时，则会使用其他气体，包括惰性气体和反应性气体。
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