交流溅射，特别是交流平面磁控溅射，涉及使用交流电源而不是直流电源。
这种电源类型的改变为溅射工艺带来了几个关键的差异和优势。
交流溅射的 5 大优势
1.电源改变
在交流溅射中，传统平面磁控溅射中使用的直流电源被交流电源取代。
这种变化是根本性的，因为它改变了靶材与等离子体的相互作用方式。
交流溅射的靶材电位不像直流溅射那样是恒定的负电压，而是经历一系列交替的正负脉冲。
这种动态电位有助于更有效地管理等离子体环境。
2.消除异常放电
施加在靶材上的交变电压有助于减少或消除异常放电现象。
这对于保持溅射过程的稳定和高效至关重要。
异常放电会破坏沉积过程的均匀性和质量，通过交流溅射减少或消除异常放电可提高整个过程的可靠性。
3.增强等离子体密度
使用交流电源还能提高基底附近的等离子体密度。
这是有好处的，因为较高的等离子体密度可提高离子轰击靶材的速率，从而提高沉积速率。
由于施加到目标表面的平均功率保持不变，因此无需对目标采取额外的冷却措施即可实现这种增强。
4.交流溅射的优势
交流溅射可有效溅射ZAO（掺铝氧化锌）靶材和其他半导体靶材等材料。
与射频（RF）溅射相比，它对操作人员的伤害较小。
它可以消除化合物薄膜反应溅射过程中可能出现的靶材中毒问题，从而稳定沉积过程。
交流溅射的工艺参数易于控制，可使薄膜厚度更加均匀。
5.磁场效应
交流平面磁控溅射中磁场的存在有助于集中电子，从而提高电子密度。
电子密度的增加会增强氩的电离，从而提高氩离子轰击靶材的速率，提高沉积速率。
总之，交流溅射，尤其是平面磁控溅射，通过提高工艺稳定性、效率和处理各种靶材的能力，比传统的直流溅射有了显著的改进。
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