知识 什么是溅射气体?了解工艺的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是溅射气体?了解工艺的 5 个要点

溅射气体通常是惰性气体,如氩气,用于溅射过程。

溅射是一种薄膜沉积方法,它使用气态等离子体将原子从固体靶材料表面移开。

在此过程中,惰性气体中的离子加速进入目标材料,使原子以中性粒子的形式喷射出来。

然后,这些中性粒子以薄膜的形式穿越并沉积到基底表面。

了解工艺的 5 个要点

什么是溅射气体?了解工艺的 5 个要点

1.惰性气体的作用

溅射过程包括将基底和目标材料放入充满惰性气体的真空室中。

2.高压应用

当施加高压电时,气体中带正电荷的离子会被带负电荷的目标材料吸引,从而引起碰撞。

3.原子喷射

这些碰撞导致原子从目标材料中喷射出来,然后沉积到基底上,形成薄膜。

4.真空环境

溅射在真空环境中进行,以保持无菌和无污染的环境。

5.溅射的多功能性

溅射是物理气相沉积的一种多功能形式,可用于沉积导电或绝缘材料涂层。

溅射技术可进一步分为直流 (DC)、射频 (RF)、中频 (MF)、脉冲直流和 HiPIMS 等子类型,每种类型都有自己的适用性。

总之,氩气等溅射气体在溅射过程中起着至关重要的作用,可促进原子从目标材料中脱落,并将薄膜沉积到基底上。

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