说到等离子技术，有两种常见的类型，即射频等离子和微波等离子。
这两种等离子体在工作方式和用途上有很大不同。
了解这些差异可以帮助您根据具体需求选择正确的等离子类型。
射频等离子体和微波等离子体有什么区别？ 5 个主要区别
1.工作频率
射频等离子体的工作频率约为 13.56 MHz。
而微波等离子体的工作频率约为 2.45 千兆赫。
频率的不同导致每种等离子体具有不同的特性和应用。
2.能量传递和加热
微波等离子体的特点是 GHz 范围内的高电磁辐射。
这种高频率可实现有效的能量传递并加热处理过的产品。
微波等离子体常用于合成金刚石、碳纳米管和石墨烯等碳材料。
3.电压要求
射频等离子体需要 1 012 伏或更高的电压，才能达到与直流等离子体相同的沉积率。
射频等离子体是利用无线电波从气体原子的外壳中去除电子。
相比之下，直流等离子体是用电子直接轰击气体等离子体原子。
4.腔室压力
射频等离子体的腔室压力明显低于 15 mTorr。
相比之下，直流等离子体需要 100 mTorr 的压力。
较低的压力可减少带电等离子体粒子与目标材料之间的碰撞，为粒子溅射到基底材料上创造更直接的途径。
5.对不同目标材料的适用性
射频等离子体尤其适用于具有绝缘性能的目标材料。
射频等离子系统，如工作频率为 13.56 MHz 的射频（RF）系统，由于无需更换电极，因此可长期运行，无需中断维护。
它们还可用于导电和绝缘目标材料。
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