真空炉的最小可检测泄漏率（详见所提供的参考资料）因应用的年限和关键性而异。对于较新的真空炉，在 70 微米或更低的压力下，可接受的最低泄漏率通常为每小时 10 微米。老式窑炉可容许稍高的泄漏率，最高可达每小时 20 到 25 微米。对于超合金或活性金属加工等关键应用，为确保加工材料的完整性和质量，泄漏率必须低于每小时 5 微米。
在达到 1 x 10^-4 torr 或更高真空度后，将抽气系统与炉腔隔离，然后监测真空度随时间变化的情况（通常在 30 和 60 分钟后），即可确定泄漏率。压力增加的速度表明泄漏率。这种方法至关重要，因为即使是微小的泄漏也会严重影响炉子的内部环境，可能导致残余氧含量升高，对热处理结果产生不利影响。
为了保持低泄漏率，全面的预防性维护计划至关重要。这包括定期检查真空进气孔、O 形环、法兰密封面和泵。在加工过程中持续监控真空度也有助于及早发现潜在泄漏。如果窑炉的泄漏率超过规定限值，则应在用于生产之前对其进行维修。这可能需要拧紧热电偶接头、重新测试炉子，严重时还需要进行氦气泄漏检查。
此外，还可采用烟雾发生器等泄漏检测方法来查找难以用其他方法检测到的泄漏。这些方法在炉子处于冷态且所有可燃物都已清除的情况下尤为有效。烟雾会渗入潜在的泄漏点，并在排出熔炉时显现出来，从而指明泄漏位置。
总之，保持真空炉的低泄漏率对于确保热处理过程的质量和效率至关重要，尤其是在敏感应用中。定期检测、维护和使用有效的泄漏检测方法是管理这些系统的重要组成部分。
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