从半导体到医疗植入物,薄膜是许多先进技术的重要组成部分。但薄膜究竟是由什么材料制成的呢?以下是薄膜使用的四种主要材料的分类:
金属
金属通常是薄膜沉积的首选。
它们具有出色的导热性和导电性。
金属经久耐用,而且相对容易沉积到基底上。
这使它们成为需要高强度和耐用性的应用的理想选择。
不过,在某些项目中,金属的成本可能是一个限制因素。
氧化物
氧化物是薄膜中另一种常用的材料。
它们以硬度高和耐高温著称。
与金属相比,氧化物的沉积温度较低。
这对某些基底材料是有利的。
尽管具有这些优点,但氧化物可能比较脆,难以加工。
这可能会限制其在某些应用中的使用。
化合物
化合物用于需要特定性能的场合。
可以对这些材料进行设计,以满足精确的规格要求。
这使它们成为电子、光学和纳米技术等先进应用的理想材料。
化合物可实现量身定制的电气或光学特性。
这种灵活性对尖端技术至关重要。
沉积技术
薄膜的沉积主要分为两种方法。
化学沉积和物理气相沉积是两种主要技术。
沉积方法的选择取决于薄膜的材料和预期功能。
例如,金属可采用物理气相沉积法。
这是因为物理气相沉积法与金属材料兼容。
对于某些氧化物或化合物薄膜,可能更倾向于使用化学沉积法。
薄膜的应用
薄膜可用于改善材料的各种表面特性。
这些特性包括透射、反射、吸收、硬度、耐磨性、耐腐蚀性、渗透性和电气性能。
因此,薄膜在半导体、激光器、LED 显示器、光学过滤器和医疗植入物等设备的制造中至关重要。
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