钨、钼和钽等金属可以蒸发，特别是在热蒸发过程中。
这些金属的熔点高、蒸气压低，因此特别有用。
这使它们成为蒸发源的理想选择，尤其是在需要薄膜沉积的真空环境中。
1.钨
众所周知，钨是纯金属中熔点最高的金属，达到 3422°C （6192°F）。
在 1650°C （3000°F）以上，钨的蒸气压也是最低的。
由于钨具有高抗拉强度和低热膨胀系数，因此被广泛应用于蒸发工艺中。
然而，钨在蒸发过程中会与铝或金等材料发生合金化。
因此，在这种情况下必须使用其他材料，如铝涂层舟或筐。
2.钼和钽
钼和钽也是熔点较高的难熔金属。
它们适用于蒸发工艺，尤其是在不适合使用钨或需要特定合金特性的情况下。
3.合金与蒸发
由于合金成分金属的蒸气压不同，蒸发合金可能具有挑战性。
为了有效管理合金蒸发，需要采用在不同坩埚中同时熔化或溅射等技术。
4.在薄膜沉积中的应用
这些金属在电子束蒸发等工艺中至关重要。
精确控制沉积速率和薄膜特性至关重要。
沉积具有可控反射特性的薄膜的能力在激光光学和建筑玻璃等应用中非常重要。
5.设备要求
蒸发源，尤其是使用船的蒸发源，需要低电压、大电流的大功率电源。
多股钨丝和金属丝筐通常用于蒸发金属和其他材料。
这可确保材料在熔化过程中升华或不弄湿篮子。
6.总结
钨、钼和钽等金属具有蒸发功能。
它们在基于真空的高温薄膜沉积工艺中特别有用。
它们的独特性能使其在各种工业和科学应用中不可或缺。
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