氩气之所以成为溅射的首选，主要有以下几个原因。
溅射中使用氩气的 4 个主要原因
溅射率高
氩的溅射率很高。
这是因为它是一种原子质量很高的稀有气体。
高原子质量意味着当电离并加速冲向靶材时，氩在撞击时会产生巨大的动量。
这将导致靶原子的高效喷射。
惰性
氩具有化学惰性。
这意味着它不会轻易与其他元素发生反应。
其惰性最大程度地降低了溅射气体与靶材或生长薄膜之间发生不必要化学反应的风险。
这可确保沉积薄膜保持所需的化学成分和特性。
低廉的价格和可用性
与氪和氙等其他稀有气体相比，氩气的价格相对较低。
氩气的广泛供应和低成本使其成为工业和实验室应用的实用选择。
这一经济因素非常重要，尤其是在大规模生产过程中，材料成本会对总体生产成本产生重大影响。
纯净气体供应
氩气的纯度很高。
高纯度对于防止杂质影响沉积薄膜的质量至关重要。
杂质会降低薄膜的性能，如导电性或光学透明度。
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