氩气因其独特的特性而被广泛应用于溅射技术，是制作薄膜的理想材料。
氩气用于溅射的 5 个主要原因
1.溅射率高
氩具有很高的溅射率。
这意味着当电离并加速到目标材料时，它能有效地去除目标材料中的原子。
溅射率越高，薄膜的沉积速度越快，从而提高了工艺的效率。
2.惰性
氩是一种惰性气体。
这意味着它不易与其他元素发生反应。
其惰性可防止溅射气体与目标材料或基底之间发生不必要的化学反应。
保持沉积材料的纯度和完整性至关重要，尤其是在薄膜必须具有特定电气或机械性能的应用中。
3.低廉的价格和可用性
氩气的价格相对低廉，高纯度的氩气供应广泛。
这使其成为工业和研究应用中一种具有成本效益的选择。
氩气的易得性和经济性使其在溅射工艺中得到广泛应用。
4.在溅射过程中的作用
在溅射过程中，氩等离子体在真空室中被点燃。
氩离子在电场的作用下加速冲向带负电的阴极（目标材料）。
氩离子的高动能使其撞击目标材料，导致目标材料原子喷出。
然后，这些原子穿过真空，凝结在基底上，形成薄膜。
由于无需熔化目标材料，该工艺可在不同方向上进行，适用于复杂形状的镀膜。
5.优化和纯度
溅射工艺的效果还取决于靶材的纯度和所用离子的类型。
由于氩气的特性，它通常是电离和启动溅射过程的首选气体。
不过，对于分子较轻或较重的目标材料，氖或氪等其他惰性气体可能更有效。
气体离子的原子量应与目标分子的原子量相近，以优化能量和动量传递，确保薄膜的均匀沉积。
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