金溅射通常会产生厚度为 2-20 纳米的薄膜。
这一范围与扫描电子显微镜（SEM）的应用尤为相关。
在扫描电子显微镜中，涂层的作用是防止试样带电，并通过增加二次电子的发射来提高信噪比。
金溅射有多厚？需要了解的 4 个要点
1.SEM 中溅金的目的
在 SEM 中，不导电或导电性差的试样会积累静电场，从而干扰成像。
为了缓解这种情况，需要通过溅射来镀上一层薄薄的导电材料（如金）。
这一过程是用高能粒子轰击金属表面，通常是在高真空环境下进行。
涂敷的金属层有助于将电荷从试样中传导出去，从而防止 SEM 图像失真。
2.溅射金的厚度
所提供的参考资料表明，用于 SEM 应用的溅射薄膜厚度一般在 2 纳米到 20 纳米之间。
选择这一范围是为了在导电性需求与避免遮盖样本表面细节的要求之间取得平衡。
较厚的涂层可能会产生伪影或改变试样的表面特性，而较薄的涂层可能无法提供足够的导电性。
3.具体示例和技术
金/钯涂层： 举例说明了使用特定设置（800V、12mA、氩气和 0.004 巴真空）在 6 英寸晶片上镀 3 纳米金/钯。
这个例子展示了溅射所能达到的精度，整个晶片上的镀层都很均匀。
计算涂层厚度： 提到的另一种方法是使用干涉测量技术计算 2.5KV 下金/钯涂层的厚度。
所提供的公式（Th = 7.5 I t）允许根据电流（I，单位为毫安）和时间（t，单位为分钟）估算涂层厚度（以埃为单位）。
该方法表明，在电流为 20 mA 的情况下，典型的涂层时间可能为 2 至 3 分钟。
4.金溅射的局限性和适用性
虽然金溅射在许多应用中都很有效，但需要注意的是，金并不适合高倍率成像，因为它的二次电子产率高，而且会在涂层中形成大颗粒。
这些特性会影响高倍率下精细标本细节的可见度。
因此，金溅射更适合低倍成像，通常低于 5000 倍。
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