金溅射通常会产生厚度为 2-20 纳米的薄膜。这一厚度范围与扫描电子显微镜 (SEM) 的应用尤为相关，在 SEM 中，涂层的作用是防止试样带电，并通过增加二次电子的发射来提高信噪比。
详细说明：
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SEM 中金溅射的目的：
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在扫描电子显微镜中，不导电或导电性差的试样会积累静电场，从而干扰成像。为缓解这种情况，可通过溅射方法涂上一层薄薄的导电材料（如金）。这一过程是用高能粒子轰击金属表面，通常是在高真空环境下进行。涂敷的金属层有助于将电荷从试样中传导出去，从而防止 SEM 图像失真。金溅射厚度：
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- 提供的参考资料显示，用于 SEM 应用的溅射薄膜厚度一般在 2 到 20 纳米之间。选择这一范围是为了在导电性需求与避免遮盖试样表面细节的要求之间取得平衡。较厚的涂层可能会产生伪影或改变试样的表面特性，而较薄的涂层可能无法提供足够的导电性。具体示例和技术：
- 金/钯涂层： 举例说明了使用特定设置（800V、12mA、氩气和 0.004 巴真空）在 6 英寸晶片上镀 3 纳米金/钯。这个例子展示了溅射所能达到的精度，整个晶片上的镀层都很均匀。
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计算涂层厚度： 提到的另一种方法是使用干涉测量技术计算 2.5KV 下金/钯涂层的厚度。根据所提供的公式（Th = 7.5 I t），可以根据电流（I，单位为毫安）和时间（t，单位为分钟）估算出涂层厚度（以埃为单位）。这种方法表明，电流为 20 毫安时，典型的镀膜时间可能为 2 到 3 分钟。
金溅射的局限性和适用性：
