溅射产量受多个因素影响。这些因素决定了在溅射过程中能从靶材中射出多少材料。
影响溅射成品率的 5 个关键因素
1.入射离子的能量
撞击靶材的离子能量至关重要。高能量离子能更有效地置换靶原子，从而提高溅射产量。这种能量通常由等离子体提供。
2.离子和靶原子的质量
入射离子的质量相对于靶原子的质量也起着重要作用。较重的离子在碰撞过程中可以传递更多的能量，从而导致更高的产率。相反，较重的靶原子则更难被置换。
3.固体中原子的结合能
靶材料中原子的结合能会影响它们被抛射出去的难易程度。结合能较高的原子需要更多的能量才能移开，这会降低溅射良率。
4.溅射参数
可以调整各种参数来优化溅射过程。这些参数包括
- 目标功率密度： 单位面积内施加到靶材上的功率。
- 溅射电流和电压： 这些参数可控制撞击靶材的离子能量和数量。
- 样品室的压力（真空）： 溅射气体的压力会影响溅射原子的平均自由路径和等离子体密度。
- 靶到样品的距离： 距离会影响溅射原子到达基底前的移动时间和能量。
- 溅射气体： 所用气体的类型会影响离子的电离和能量。
- 靶材厚度和材料： 较厚的靶材可以维持较长的溅射时间，不同的材料有不同的溅射产量。
5.理论计算
溅射率可通过考虑离子通量密度、单位体积内的靶原子数、原子量、靶与基底之间的距离以及电离程度等因素的公式进行理论计算。
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