溅射是各行各业的关键工艺，尤其是在制造薄膜方面。
在实践中使用的溅射系统有多种类型，每种类型都有自己独特的特点和应用。
溅射有哪些类型？(4 种主要方法详解）
1.直流二极管溅射
直流二极管溅射使用 500-1000 V 之间的直流电压点燃靶材和基材之间的氩气低压等离子体。
正氩离子将原子从靶材中析出，然后迁移到基片上并凝结成薄膜。
不过，这种方法仅限于电导体，溅射率较低。
2.射频二极管溅射
射频二极管溅射利用射频功率电离气体并产生等离子体。
这种方法的溅射率较高，可用于导电和绝缘材料。
3.磁控二极管溅射
在磁控管二极管溅射中，使用磁控管来提高溅射效率。
磁场会在靶材表面附近捕获电子，从而提高电离率和沉积率。
4.离子束溅射
离子束溅射是利用离子束从目标材料中溅射出原子。
这种技术可精确控制离子能量和入射角度，非常适合要求高精度和高均匀性的应用。
值得注意的是，溅射可用于多种材料，包括金属、陶瓷和其他材料。
溅射涂层可以是单层或多层的，可以由银、金、铜、钢、金属氧化物或氮化物等材料组成。
溅射工艺也有不同的形式，如反应溅射、高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）和离子辅助溅射，每种工艺都有自己独特的特点和应用。
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