溅射产量受几个关键因素的影响。这些因素决定了在溅射过程中原子从靶材中喷射出来的效率。
影响溅射成品率的 4 个关键因素
1.入射离子的能量
撞击靶材的离子能量至关重要。在 10 至 5000 eV 范围内，溅射产率随着入射离子能量的增加而增加。这是因为能量较高的离子有更多的动能传递给靶原子，从而促进它们从表面射出。
2.离子和靶原子的质量
入射离子的质量和靶原子的质量也起着重要作用。一般来说，溅射产率会随着轰击粒子质量的增加而增加。这是由于较重离子向靶原子的动量传递增加，从而提高了抛射概率。同样，靶原子的质量也会影响到它们被置换的难易程度；较轻的靶原子通常更容易被溅射。
3.固体中原子的结合能
固体靶材料中原子的结合能决定了它们被固定的强度。较高的结合能需要更多的能量来移开原子，从而影响溅射产量。结合能较低的材料更容易溅射，因为入射离子需要较少的能量来克服原子结合。
4.实际应用和调整
在实际溅射应用中，这些因素可通过各种技术加以控制，如调整等离子体特性（如离子密度）、使用射频功率、应用磁场和设置偏置电压。这些调整有助于优化溅射条件，以实现理想的沉积速率和材料特性。
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