知识 什么是薄膜半导体?5 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是薄膜半导体?5 大要点解析

薄膜半导体是沉积在基底(通常由硅或碳化硅制成)上的一层半导体材料,厚度通常只有纳米或十亿分之一米。

这些薄膜在集成电路和分立半导体器件的制造过程中至关重要,因为它们能够被精确地图案化,并能同时制造出大量的有源和无源器件。

5 个要点说明

什么是薄膜半导体?5 大要点解析

1.在基底上沉积

薄膜半导体沉积在非常平整的基底上,基底通常由硅或碳化硅制成。这种基片是集成电路或器件的基底。

2.叠层薄膜

在基底上,沉积一层精心设计的薄膜。这些薄膜包括导电、半导体和绝缘材料。每一层对设备的整体功能都至关重要。

3.使用光刻技术制图

利用平版印刷技术对每层薄膜进行图案化。这一过程可实现元件的精确排列,这对设备的高性能至关重要。

4.在现代半导体工业中的重要性

随着半导体技术的发展,设备和计算机芯片变得越来越小。在这些更小的设备中,薄膜的质量变得更加重要。即使是几个原子的错位也会严重影响性能。

5.薄膜设备的应用

薄膜器件应用广泛,从微处理器中的晶体管阵列到微机电系统(MEMS)和太阳能电池。它们还用于镜子的涂层、透镜的光学层以及新型计算机存储器的磁性薄膜。

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