更新于 3个月前
溅射过程需要使用特定的气体，以确保材料高效、有效地沉积到基底上。
氩气是溅射过程中最常用、成本效益最高的气体。
由于氪的原子量较重，因此用于溅射重元素。
与氪一样，氙也因其能够有效溅射重型材料而被选用。
氖的原子量较轻，因此是溅射轻元素的首选。
氧气和氮气等反应性气体与惰性气体结合使用，可沉积氧化物、氮化物和其他化合物薄膜。
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