技术团队 · Kintek Solution

溅射过程中使用的气体通常是惰性气体，其中氩气是最常见和最经济的选择。其他惰性气体如氪、氙、氖和氮也可使用，这取决于溅射工艺的具体要求和目标材料的原子量。气体的选择对于有效的动量传递至关重要，轻元素的溅射首选氖等较轻的气体，重元素则使用氪或氙等较重的气体。此外，氧气和氮气等活性气体可与惰性气体结合使用，用于沉积氧化物、氮化物和其他化合物薄膜。溅射气体的选择会极大地影响基底上薄膜或涂层的沉积速率和质量。

了解 KINTEK SOLUTION 溅射气体的精确性和多功能性，这些气体旨在提高您的工艺效率和薄膜质量。从行业标准的氩气到专用的氪气和氖气混合物，我们的惰性气体和活性气体系列可确保任何靶材都能获得最佳溅射性能。现在就利用 KINTEK SOLUTION 的优质气体选择和行业专业知识来提高您的溅射能力。