扫描电子显微镜的涂层通常是在不导电或导电性差的样品上涂上一层薄薄的导电材料，如金、铂或金/铱/铂合金。
这种涂层对于防止样品表面在电子束下充电、增强二次电子发射和提高信噪比，从而获得更清晰、更稳定的图像至关重要。
此外，涂层还能保护对电子束敏感的样品，减少热损伤。
SEM 有哪些涂层？需要了解的 7 个要点
1.导电涂层
SEM 中最常用的涂层是金、铂等金属以及这些金属的合金。
选择这些材料是因为它们具有高导电性和二次电子产率，可显著提高扫描电子显微镜的成像能力。
例如，给样品镀上几纳米的金或铂，就能显著提高信噪比，从而获得清晰的图像。
2.金属涂层的优点
减少光束损伤： 金属镀膜可以保护样品免受电子束的直接照射，从而降低损坏的可能性。
增强热传导： 通过将热量从样品中传导出去，金属镀膜有助于防止可能改变样品结构或特性的热损伤。
减少样品充电： 导电层可防止样品表面静电荷的积累，因为静电荷会扭曲图像并干扰电子束的运行。
改善二次电子发射： 金属涂层可增强二次电子的发射，这对 SEM 的成像至关重要。
减少光束穿透，提高边缘分辨率： 金属涂层可降低电子束穿透深度，提高表面特征的分辨率。
3.溅射镀膜
溅射镀膜是应用这些导电层的标准方法。
它采用溅射沉积工艺，用氩离子轰击金属靶，使金属原子喷射出来并沉积到样品上。
这种方法可以精确控制涂层厚度和均匀性，这对实现最佳的扫描电镜性能至关重要。
4.X 射线光谱分析的注意事项
使用 X 射线光谱分析时，金属涂层可能会干扰分析。
在这种情况下，最好使用碳涂层，因为它不会引入可能使光谱分析复杂化的额外元素。
5.现代扫描电镜的功能
现代扫描电子显微镜可在低电压或低真空模式下工作，只需进行最少的准备工作即可检查非导电样品。
不过，即使在这些高级模式下，薄导电涂层仍能增强扫描电镜的成像和分析能力。
6.结论
涂层材料和方法的选择取决于扫描电镜分析的具体要求，包括样品类型、成像模式和要使用的分析技术。
导电涂层对于保持样品完整性和提高 SEM 图像质量至关重要，特别是对于非导电材料。
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