CNT(碳纳米管)的危害可分为几个方面:
1.肺部接触:吸入 CNT 可导致肺部炎症,这与肺部纤维化和癌症的发展有关。也就是说,吸入 CNT 会对呼吸系统产生有害影响。
2.有毒气体前体:在用于生长 CNT 的化学气相沉积(CVD)过程中,可能会使用某些气体前体,如 Cu(acac)2、B2H6 或 Ni(CO)4。这些前体具有毒性、腐蚀性和爆炸性。如果不小心处理和运送,它们会对环境和接触者的健康造成危害。
3.有毒气体副产品:在 CVD 过程中,可能会产生 HF、H2 或 CO 等气态副产品。这些副产品具有剧毒,从真空室释放出来时需要妥善处理,以防止对环境和个人造成危害。
4.高温涂层:CVD 工艺可在非常高的温度下沉积薄膜涂层。然而,某些基底材料的热稳定性较差,无法承受这些高温。使用此类材料会导致 CVD 过程失败,并可能造成危险。
需要注意的是,虽然 CVD 有其优点,如能在基底上形成均匀的厚度,但仍需采取预防措施,以确保 CVD 工艺操作人员的安全。必须遵循标准操作程序 (SOP),以最大限度地降低与 CVD 中有毒前体和副产品相关的风险。
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