溅射是固体材料中的原子在高能离子轰击下喷射到气相中的物理过程。
这种现象可用于各种科学和工业应用，如薄膜沉积、精密蚀刻和分析技术。
5 个要点说明
1.定义和起源
溅射 "一词来自拉丁语 "Sputare"，意为 "嘈杂地吐出"。
这一词源反映了颗粒从表面被强力喷出的视觉形象，类似于颗粒的喷射。
2.工艺细节
溅射是指产生气态等离子体，通常使用氩气等惰性气体。
等离子体中的离子被加速冲向目标材料，目标材料可以是任何用于沉积的固体物质。
这些离子的撞击将能量传递给目标材料，使其原子以中性状态喷射出来。
然后，这些喷射出的粒子沿直线传播，并可沉积到放置在其路径上的基底上，形成薄膜。
3.应用
薄膜沉积
溅射技术广泛应用于光学镀膜、半导体器件和纳米技术产品的制造。
溅射技术的精确性和可控性使其能够沉积非常薄而均匀的材料层。
蚀刻
精确去除材料的能力使溅射技术在蚀刻工艺中大显身手，在蚀刻工艺中，材料表面的特定区域是去除的目标。
分析技术
溅射还可用于各种分析技术，在这些技术中，需要在微观层面检查材料的成分和结构。
4.优势
与其他沉积方法相比，溅射法更受青睐，因为它可以沉积多种材料，包括金属、半导体和绝缘体，而且纯度高，与基底的附着力极佳。
它还能精确控制沉积层的厚度和均匀性。
5.历史意义
1970 年，Peter J. Clarke 开发出第一台 "溅射枪"，标志着半导体行业的重大进步，实现了材料原子级的精确可靠沉积。
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