知识 什么是扩散泵?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

什么是扩散泵?需要了解的 5 个要点

扩散泵是一种无运动部件的真空泵。

它有别于使用活塞或鳍片置换空气的机械泵。

相反,扩散泵采用流体夹带机制。

这种机制利用沸腾流体(通常称为 "油")的蒸汽来捕获和输送空气分子。

具有高动能的蒸汽会捕获空气分子,并将它们带到较冷的区域,然后释放出来。

这一过程借助重力和蒸汽的向下流动,将空气分子引向泵的底部。

需要了解的 5 个要点

什么是扩散泵?需要了解的 5 个要点

1.操作简单、经久耐用

扩散泵操作简单、经久耐用,因此适用于各种工业应用。

这些应用包括电子束显微镜、真空沉积和真空炉。

2.高真空度

扩散泵能够达到 10^-2 至 10^-10 托的高真空度。

3.对前级泵的要求

扩散泵不能独立运行。

它们需要一个前级泵来维持系统内的低压,尤其是在闲置期间。

这种设置可确保扩散泵在需要时有效发挥作用。

4.维护

就维护而言,扩散泵相对简单。

它们只需要监控油位和加热器的功能。

加热系统通常包括一个管状元件、一个压板和一个夹紧板。

正确对齐对于高效运行至关重要。

5.与动能泵的对比

扩散泵与涡轮分子泵等动力泵形成鲜明对比。

动能泵使用叶轮或高速旋转的叶片将动量传递给气体分子,将其推向出口。

这些动能泵用于高压应用,与扩散泵相比,具有不同的操作和维护要求。

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