扩散泵是一种无运动部件的真空泵，有别于使用活塞或鳍片置换空气的机械泵。相反，扩散泵采用流体夹带机制，利用沸腾流体（通常称为 "油"）的蒸汽来捕获和输送空气分子。具有高动能的蒸汽会捕获空气分子，并将它们带到较冷的区域，然后释放出来。这一过程借助重力和蒸汽的向下流动，将空气分子引向泵的底部。
扩散泵操作简单、经久耐用，适用于各种工业应用，包括电子束显微镜、真空沉积和真空炉。它们能够达到 10^-2 到 10^-10 托的高真空度。然而，扩散泵不能独立运行；它们需要一个前级泵来维持系统内的低压，尤其是在空闲期间。这种设置可确保扩散泵在需要时有效运行，隔离了保持泵阀门，并依靠机械泵和鼓风机作为备用泵。
在维护方面，扩散泵相对简单，只需监测油位和加热器的功能。加热系统通常包括一个管状元件、一个压板和一个夹紧板，正确对齐是高效运行的关键。
扩散泵与动能泵（如涡轮分子泵）不同，后者使用叶轮或高速旋转的叶片将动量传递给气体分子，将其推向出口。这些动能泵用于高压应用，与扩散泵相比，具有不同的操作和维护要求。
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