溅射中的阳极是带正电的电极。
它通常与基底或发生沉积过程的腔壁相连。
在溅射过程中，阳极起着接地的作用。
这允许电流在系统中流动，并促进目标材料沉积到基底上。
4 阳极在溅射中的关键作用
1.电气配置
在溅射装置中，靶材料与带负电的阴极相连。
基片或腔壁与带正电的阳极相连。
这种配置对于溅射过程的运行至关重要。
2.溅射过程中的功能
阳极在维持溅射系统内的电平衡方面起着关键作用。
当在阴极上施加高负电压时，自由电子会被加速冲向阳极。
这些电子与气体中的氩原子碰撞，使其电离并产生等离子体。
然后，带正电荷的氩离子被吸引到带负电荷的阴极。
它们与目标材料碰撞，使原子喷射出来并沉积到与阳极相连的基底上。
3.溅射类型
根据所使用的电源（如直流（DC）或射频（RF）），阳极的具体功能可能会有所不同。
在直流溅射中，阳极直接是连接到基底或腔壁的正极。
在射频溅射中，阳极仍作为电气接地，但电源会交替充电。
这有助于管理非导电目标材料上的电荷积累。
4.应用
阳极的作用在溅射的所有应用中都至关重要。
这包括计算机硬盘和集成电路的生产。
还包括玻璃和光学材料的镀膜。
阳极的高效运行可确保在基底上正确沉积具有所需特性的薄膜。
总之，溅射中的阳极是一个关键部件。
它为溅射过程的运行提供必要的正电连接。
这有利于通过创造等离子环境将目标材料沉积到基底上。
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