扩散泵的目的是利用沸腾流体的蒸气捕获并去除腔体内的空气分子，从而在各种工业应用中实现并保持高真空度。当单靠机械泵无法达到所需的低压水平时，扩散泵就显得尤为有用。
答案摘要：
扩散泵设计用于在高真空环境中工作，通常低于 10^-2 托，这超出了机械泵的能力范围。它利用沸腾流体的蒸汽夹带空气分子，然后随着流体冷却释放并从系统中排出，从而实现这一目的。这一过程使扩散泵无需移动部件就能保持高真空，使其成为许多工业应用中可靠耐用的选择。
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详细说明：
- 工作原理：
- 与使用活塞、鳍或叶片将空气从腔室中物理推出的机械泵不同，扩散泵的工作原理是流体夹带。它们利用沸腾流体（通常指油）的蒸汽来捕获空气分子。
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气化流体的密度大于腔室内的气体密度，因此能有效地将气体分子扫向排气口，并在那里将其凝结和收集起来。在重力的作用下，气化流体向下流动，将气体分子引向泵的底部，从而对这一过程起到辅助作用。
- 在真空系统中的作用：
- 在真空系统中，扩散泵通常作为二级或三级泵使用，排在机械泵和增压泵之后。机械泵在一定压力下（约 20 托）有效，之后效率会下降。
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当压力达到 10 至 1 微米时，扩散泵就会启动，从而使系统达到较高的真空度，通常可低至 10^-10 托。
- 与其他泵集成：
- 扩散泵不能独立运行；它们需要一个保持泵来维持前级管路中的压力，并防止扩散泵中的油泄漏到容器中。
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在运行过程中，保持泵被隔离，机械泵作为扩散泵的前级泵，确保系统保持必要的真空度。
- 应用：
扩散泵在电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等需要极低压的应用中至关重要。扩散泵无需移动部件即可达到并保持高真空度，因此成为这些行业的首选。校正和审查：
