扩散泵的目的是在各种工业应用中实现并保持高真空度。
这是通过使用沸腾流体的蒸气来捕获和去除腔室中的空气分子来实现的。
当单靠机械泵无法达到所需的低压水平时，这种方法尤其有用。
4 个要点说明
1.工作原理
机械泵使用活塞、鳍或叶片将空气从腔室中推出，与此不同，扩散泵的工作原理是流体夹带。
它们利用沸腾流体（通常指油）的蒸汽来捕获空气分子。
气化流体的密度大于腔室内的气体密度，因此能有效地将气体分子扫向排气口，并在那里将其凝结和收集起来。
在重力的作用下，气化流体向下流动，将气体分子引向泵的底部，从而对这一过程起到辅助作用。
2.在真空系统中的作用
在真空系统中，扩散泵通常作为二级或三级泵使用，排在机械泵和增压泵之后。
机械泵在一定压力下（约 20 托）有效，之后效率会下降。
当压力达到 10 至 1 微米时，扩散泵就会启动，从而使系统达到较高的真空度，通常可低至 10^-10 托。
3.与其他泵集成
扩散泵不能独立运行；它们需要一个保持泵来维持前管路中的压力，并防止扩散泵中的油泄漏到容器中。
在运行过程中，保持泵被隔离，机械泵作为扩散泵的前级泵，确保系统保持必要的真空度。
4.应用
扩散泵在电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等需要极低压的应用中至关重要。
扩散泵无需移动部件即可达到并保持高真空度，因此成为这些行业的首选。
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