薄膜通常以其厚度为特征，厚度从几纳米到几微米不等。薄膜的厚度至关重要，因为它对薄膜的电气、光学、机械和热性能有重大影响。准确测量薄膜厚度对于优化各行业的产品功能和设计至关重要。
测量技术：
通常使用光学方法测量薄膜厚度，特别是通过薄膜上下界面之间的光干涉。这种方法依赖于光波与薄膜表面相互作用产生的干涉图案。在干涉光谱中观察到的波峰和波谷的数量可用来确定薄膜的厚度。这种技术对透明基底上的透明薄膜非常有效，可以同时进行透射和反射测量。
对于不透明基底，则只适用于反射测量。测量技术的选择取决于基底和薄膜本身的透明度。值得注意的是，材料的表面粗糙度会影响这些测量的准确性，因此必须仔细考虑薄膜的表面质量。薄度的定义：
严格来说，"薄膜 "一词并不是以特定厚度来定义的，而是以其厚度与系统固有长度尺度相比的相对尺度来定义的。传统上，如果薄膜的厚度（以 dz 表示）小于或等于 5 µm（以 d0 表示），则该薄膜被认为是 "薄 "的。然而，更准确的定义是，如果薄膜的厚度与系统的内部长度尺度相当或更小，薄膜就会被认为是薄的，而系统的内部长度尺度与薄膜的特性及其与光或其他形式的能量相互作用的方式有关。
薄度的可视化：
