薄膜通常以其厚度为特征,厚度从几纳米到几微米不等。
薄膜的厚度至关重要,因为它对薄膜的电气、光学、机械和热性能有重大影响。
准确测量薄膜厚度对于优化各行业的产品功能和设计至关重要。
了解薄膜厚度的 5 个要点
1.测量技术
通常使用光学方法测量薄膜厚度,特别是通过薄膜上下界面之间的光干涉。
这种方法依赖于光波与薄膜表面相互作用产生的干涉图案。
在干涉光谱中观察到的波峰和波谷的数量可用来确定薄膜的厚度。
这种技术对透明基底上的透明薄膜非常有效,可以同时进行透射和反射测量。
对于不透明基底,则只适用于反射测量。
测量技术的选择取决于基底和薄膜本身的透明度。
值得注意的是,材料的表面粗糙度会影响这些测量的准确性,因此必须仔细考虑薄膜的表面质量。
2.薄膜厚度的定义
严格来说,"薄膜 "一词并不是以特定厚度来定义的,而是以其厚度与系统固有长度尺度相比的相对尺度来定义的。
传统上,如果薄膜的厚度(用 dz 表示)小于或等于 5 µm(用 d0 表示),就被认为是 "薄 "的。
然而,更准确的定义是,如果薄膜的厚度与系统的内部长度尺度相当或更小,薄膜就被认为是薄的,而系统的内部长度尺度与薄膜的特性及其与光或其他形式的能量相互作用的方式有关。
3.薄度的可视化
为了更好地理解 "薄 "的概念,我们可以将其形象化为一缕蜘蛛丝,它比蜘蛛网上的一根普通丝要细数百倍。
这种比喻有助于理解薄膜的微小尺度,薄膜通常比微米还要薄,有时甚至接近原子尺寸。
4.厚度的重要性
薄膜的厚度是影响其特性和应用的关键参数。
精确的测量技术(如光学干涉)对确定厚度至关重要,同时还要考虑基底透明度和表面粗糙度。
5.相对定义
厚度的定义是相对的,取决于薄膜与其环境的相互作用以及系统的内在长度尺度。
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