对于蒸馏过程，所需的真空度通常从一般应用的 1 毫巴到分子蒸馏的 0.1-100 帕不等。真空泵的选择取决于蒸馏过程的具体要求，无油隔膜泵适用于一般应用，而油封旋片泵则可为要求更高的应用提供更深的真空度。
一般蒸馏：
对于一般蒸馏用途，如抽吸、浓缩和真空干燥，通常 1 毫巴的真空度就足够了。使用无油隔膜泵可以轻松达到这一真空度，与油封旋片泵相比，无油隔膜泵对腐蚀性和冷凝蒸汽的敏感性更低。这些泵非常适合不希望有油存在或蒸汽可能具有腐蚀性的环境。分子蒸馏：
- 分子蒸馏所需的真空度要低得多，通常在 0.1-100 Pa 之间。要增加分子的平均自由路径，使其能够从加热表面到达冷凝表面而不与其他分子发生碰撞，就必须使用这种高真空。这一过程对热敏材料至关重要，因为它可以最大限度地减少材料受热，从而减少热损伤。分子蒸馏过程中，加热表面和冷凝表面之间的距离很短，这确保了加热时间最短，从而进一步保护了敏感材料。蒸馏设备：
- 真空泵： 对于蒸馏，尤其是短程蒸馏，能够达到深真空水平（至少 50 微米）的耐化学腐蚀真空泵是必不可少的。旋片泵，尤其是油封旋片泵，因其能达到最佳真空深度而受到青睐。不过，由于该过程具有化学磨损性，建议在每次蒸馏前更换油，以保持最佳性能。
- 冷阱： 冷阱在蒸馏装置中至关重要，因为它可以捕获通过冷凝器的蒸汽，从而保护真空系统并延长其使用寿命。
真空控制器：
为了优化蒸馏效率并防止爆炸沸腾等问题，有必要使用真空控制器或阀门来精确控制真空度。隔膜真空泵的极限真空可低至 2 毫巴，而循环泵的极限真空约为 50 毫巴，因此适用于受控真空设置。
