更新于 2个月前
用于 SEM（扫描电子显微镜）的镀金层对于提高图像质量和防止样品损坏至关重要。
用于 SEM 的金涂层的典型厚度范围为 2 到 20 纳米 (nm)。
这种超薄金层是通过一种称为溅射镀膜的工艺镀上的。
该涂层的主要目的是防止试样带电，并增强对次级电子的探测。
金是最常用的材料，因为它的功函数低，所以镀膜效率很高。
在特定应用中，例如在 6" 晶圆上镀金/钯 (Au/Pd)，使用的厚度为 3 nm。
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