产品 实验室耗材和材料 薄膜沉积部件 半球底钨钼蒸发舟
半球底钨钼蒸发舟

薄膜沉积部件

半球底钨钼蒸发舟

货号 : KME-YD

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材料
钨/钼
尺寸
可定制
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应用

半球底钨蒸发舟是一种多功能且经济高效的解决方案,可实现高效的薄膜沉积。其精确的蒸发控制可最大限度地减少材料浪费,降低成本,并确保整个行业的均匀蒸发。该蒸发舟专为少量薄膜材料而设计,可减少贵金属浪费并优化散热。使用这种创新的蒸发舟,可实现卓越的沉积效果,最大限度地减少浪费并降低成本。

  • 半导体行业:高效利用材料,减少浪费,节省制造成本。
  • 电子行业:电子元件的经济高效的薄膜沉积可减少材料浪费。
  • 光学行业:改善热分布并实现均匀蒸发,是高质量光学涂层的理想选择。
  • 珠宝行业:兼容珠宝制造中的金电镀和银电镀等贵金属。
  • 真空沉积系统:适用于不同的真空系统,包括薄膜太阳能电池和 OLED 显示屏。
  • 薄膜研究与生产:性能稳定,兼容多种材料,适用于研究和大规模生产。

细节与零件

钨舟 89*12.5*0.39mm (长*宽*厚)
89*12.5*0.39mm (长*宽*厚)
钨制半球底细节
50* 11* 0.3mm (长*宽*厚);圆孔:直径 10mm,深度 2.5mm
钨制半球底细节
92* 27* 0.2mm (长*宽*厚)
钨制半球底细节
100* 30* 0.3mm (长*宽*厚)
钨制半球底细节

100* 19* 0.3mm (长*宽*厚);半球:直径 16.5mm,高度 4.8mm

100*12.5*0.3mm (长*宽*厚);半球:直径 11mm,高度 3mm

钨制半球底细节

50 / 60 *7 *0.2mm (长*宽*厚);半球:直径 6mm,高度 1.9mm;

100*11*0.3mm (长*宽*厚)

凸形舟
62*7* 0.2mm (长*宽*厚)

我们展示的坩埚有不同尺寸,也可根据要求定制尺寸。

优点

  • 高效的材料利用:最大限度地减少贵金属和薄膜材料的浪费,降低材料成本。
  • 经济高效:为薄膜沉积过程提供经济高效的解决方案。
  • 增强的热分布:确保均匀蒸发并减少散热,提高沉积质量。
  • 稳定耐用:耐高温,不变形,不损坏,确保使用寿命更长。
  • 多功能性:适用于金、银、铂、钯等沉积工艺。
  • 易于操作:紧凑的尺寸和形状使其易于在蒸发室中操作和定位。
  • 兼容性:可与不同的真空沉积系统配合使用,增加了其适用性。
  • 性能一致:在整个蒸发过程中提供可靠且可重复的结果。
  • 降低污染风险:由于钨的特性,材料污染的风险很低。
  • 长期节省成本:减少材料浪费并提高效率,从而随着时间的推移节省成本。

FAQ

什么是钨舟?

钨船是由钨金属制成的小型容器或托盘。在各种工业和实验室应用中,它们被设计用于在高温下盛放和运输材料。钨舟通常用于蒸发、烧结和热分析等过程。

使用钨舟有哪些优势?

钨舟在高温应用中具有多种优势。首先,钨的熔点极高,达到 3422°C,因此适合在温度极高的环境中使用。钨舟还具有出色的导热性,可实现高效热传导并均匀加热被加工材料。它们具有很高的机械强度,即使在高温下也能承受变形和翘曲。钨具有很强的耐化学腐蚀性,因此钨舟可与多种材料和环境兼容。此外,钨的蒸汽压较低,这意味着它的蒸汽污染极小,因此适合高纯度应用。钨舟的使用寿命长,可反复使用而不会出现明显的老化。

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

使用蒸发舟有哪些优势?

蒸发舟在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们为材料的蒸发提供受控环境,确保对薄膜厚度和均匀性的精确控制。蒸发舟可承受高温并提供高效热传导,从而实现稳定的蒸发率。蒸发舟有各种尺寸和形状,可适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发舟可以沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。它们易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发舟是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

蒸发舟的典型使用寿命是多久?

蒸发舟的使用寿命取决于多个因素。这主要取决于蒸发舟所使用的材料、操作条件和使用频率。与陶瓷材料制成的蒸发舟相比,钨或钼等难熔金属制成的蒸发舟通常更耐用,使用寿命更长。只要处理得当、定期维护和采用适当的清洁程序,蒸发舟通常可用于多个沉积周期。不过,随着时间的推移,蒸发舟可能会出现磨损,如开裂或降解,这可能会缩短其使用寿命。重要的是要监控蒸发舟的状况,进行定期检查,并在必要时进行更换,以确保持续可靠的薄膜沉积。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。

蒸发舟可以重复使用吗?

蒸发舟可以重复使用,但这取决于几个因素。蒸发舟的状况、清洁度以及与不同蒸发材料的兼容性在决定其是否可以重复使用方面起着重要作用。如果蒸发舟状况良好,没有裂缝或缺陷,并已彻底清洁,通常可以重复用于后续沉积。但是,如果蒸发舟接触过活性材料或有降解迹象,则可能不适合重复使用。在重复使用蒸发舟时,要考虑到污染或意外反应的可能性。定期检查和适当的清洁程序对于保持蒸发舟的性能和确保其适合重复使用至关重要。

如何选择合适的蒸发舟材料?

选择合适的蒸发舟材料取决于几个因素。考虑蒸发材料的熔点,选择熔点较高的蒸发舟材料,以防止蒸发舟失效。此外,还要考虑蒸发舟材料与蒸发剂的相容性,以避免发生反应或污染。应评估舟的导热性和热容量,以便在蒸发过程中有效传热和控制温度。此外,还要考虑蒸发舟的机械性能,如强度和耐用性,以确保其能够承受反复的加热和冷却循环。
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