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CVD 金刚石涂层

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CVD 金刚石涂层

货号 : cvdm-05

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厚度
<50μm
抛光后厚度
<30μm
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简介

化学气相沉积(CVD)金刚石涂层是一种在基底上沉积金刚石薄膜的工艺。该工艺是在含氢气体存在的情况下,将含碳气体沉积到加热的基底上。气体中的碳原子被电离并加速向基底移动,在基底上与氢原子反应生成金刚石。

与天然金刚石相比,CVD 金刚石涂层具有许多优点,包括摩擦系数低、耐磨性好、热稳定性高、均匀性好和附着力强。这些特性使 CVD 金刚石涂层成为切削工具、拉丝模具、声学设备以及摩擦和磨损应用等广泛领域的理想选择。

CVD 金刚石涂层通常沉积在各种基底上,包括硅、碳化物和金属。涂层的厚度可通过改变沉积时间和温度来控制。CVD 金刚石涂层可以生长出各种表面结构,包括光滑、刻面和纹理。涂层的表面结构可以量身定制,以优化薄膜的特定应用。

用于声学设备的 3 英寸晶片
用于声学设备的 3 英寸晶片
碳化硅密封环
碳化硅密封环
深腔拉丝模具
深腔拉丝模具

应用领域

CVD 金刚石涂层具有低摩擦系数、优异的耐磨性、良好的热稳定性、均匀性和附着力等优异特性,因此应用范围十分广泛。主要应用领域包括

  • 金刚石薄膜涂层碳化硅,用于恶劣环境下的密封应用。
  • 金刚石薄膜涂层深腔硬质合金拉丝模具,具有圆形截面模腔。
  • 带不规则型腔的金刚石薄膜涂层深腔硬质合金拉丝模具。
  • 用于声学应用(高频 (GHz) 表面声波 (SAW) 设备)的金刚石薄膜涂层硅晶片。
  • 用于摩擦和磨损应用的金刚石薄膜涂层。

特点

CVD 金刚石涂层具有一系列优点和特性,是各种应用的重要选择:

  • 低摩擦系数: 该特性可减少摩擦和磨损,从而提高工具和部件的性能并延长其使用寿命。

  • 卓越的耐磨性: 金刚石涂层具有超强的耐磨损性,适用于对耐用性要求极高的应用领域。

  • 出色的热稳定性: 涂层具有极高的热稳定性,可承受极端温度而不影响其性能。

  • 良好的均匀性: CVD 工艺可确保均匀的涂层厚度和一致性,从而实现可靠、可预测的性能。

  • 附着力强: 金刚石涂层能牢固地附着在基体上,确保粘接持久耐用。

  • 多种表面结构: CVD 工艺可生长出各种表面结构,例如薄而光滑的表面、较厚的薄膜和切面,从而可针对特定应用进行优化。

原理

化学气相沉积(CVD)金刚石涂层是一种通过碳氢化合物气体与原子氢的化学反应在基底上沉积金刚石薄膜的工艺。原子氢由电弧或微波放电产生的等离子体生成。碳氢化合物气体中的碳原子沉积到基底表面,从而在基底上形成金刚石薄膜。金刚石薄膜的特性,如厚度、晶粒大小和表面形态,可通过改变工艺参数(如气体成分、压力、温度和基底偏压)来控制。

优点

  • 摩擦系数低,可显著减少使用过程中的摩擦和磨损。

  • 优异的耐磨性,可延长工具和部件的使用寿命。

  • 优异的热稳定性,即使在高温环境下也能保持性能。

  • 良好的均匀性,确保整个表面的涂层厚度和性能一致。

  • 良好的附着力,可在涂层和基材之间形成牢固的结合。

  • 能生长出多种表面结构,优化薄膜的特定应用。

  • 可用于各种基材,包括金属、陶瓷和聚合物。

  • 化学惰性,使其具有抗腐蚀性和抗化学侵蚀性。

  • 生物相容性好,适合医疗和生物应用。

技术规格

维氏硬度 8000-10000mm2
杨氏模量 1000-1100GPa
摩擦系数: 0.05-0.1 0.05-0.1
厚度: <50μm
抛光后厚度 <30μm

FAQ

CVD 金刚石涂层工艺的独特优势是什么?

CVD 金刚石涂层工艺的独特优势在于能够生长出多种表面结构,并针对特定应用优化薄膜。

CVD 金刚石涂层有哪些应用?

CVD 金刚石涂层应用广泛,包括恶劣环境中的密封应用、深腔硬质合金拉丝模、声学应用中的硅晶片以及摩擦和磨损应用。

CVD 金刚石涂层有哪些优点?

CVD 金刚石涂层具有许多优点,包括摩擦系数低、耐磨性好、热稳定性好、均匀性好和附着力好。
查看更多该产品的问题与解答

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