干泵是一种无需使用机油或其他润滑剂的真空泵，可提供洁净的真空并将废物产生量降至最低。不同类型的干泵包括
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隔膜泵:这些泵使用往复式隔膜来产生真空。它们无油，几乎不需要维护，适用于对污染敏感的应用。隔膜泵可定制不同的速度、压力和调节类型（如转速或阀门调节）。隔膜泵通常具有 PTFE 等耐腐蚀涂层，可与各种化学溶剂兼容。
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涡旋泵:这些泵利用两个交错的螺旋涡旋偏心运动来压缩空气和蒸汽，并将其引向排气口。与隔膜泵相比，涡旋泵可以达到更深的真空度（如 10-3 托）和更高的抽气速度，因此适用于手套箱等需要高流量的应用。不过，它们可能需要定期更换顶端密封，而且耐腐蚀性通常不如隔膜泵。
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涡轮分子泵:这种高真空泵使用旋转叶片对气体分子进行定向动量传递，从而有效地将气体分子抽出。它们通常用于需要极高真空度的科学和半导体应用领域。
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活塞泵:这种泵使用活塞置换空气，从而产生真空。它们通常用于需要中等真空度的应用场合，可设计为无油型，因此适用于清洁环境。
每种类型的干泵都具有特定的优势，并根据真空度要求、流量、化学兼容性和维护考虑等因素适用于不同的应用。
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