扩散泵是各种工业应用中必不可少的工具,尤其是那些需要高真空和超高真空的应用。
扩散泵的 8 个重要特征是什么?
1.高抽速
扩散泵对所有气体的抽气速度都很高。
这使它们成为高真空和超高真空应用的理想选择。
扩散泵的抽速范围为 10^-2 至 10^-10 托。
2.无活动部件
扩散泵没有活动部件,因此耐用可靠。
这一特点消除了维护需求,降低了机械故障的风险。
3.操作原理简单
扩散泵的操作非常简单。
它主要依靠两个元件:扩散泵油和加热器。
加热器将油加热到沸腾温度,上升的油蒸气被压缩到一个垂直的锥形喷嘴中。
倾斜的喷射口形成一个蒸汽伞,捕捉空气分子。
4.自动抽真空
扩散泵的操作是自动和联锁的。
保温泵用于始终保持扩散泵前线的低压。
这可以防止泵油逆流进入腔室。
5.与各种应用的兼容性
扩散泵广泛应用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等工业领域。
它们用途广泛,可处理各种工艺。
6.高真空能力
扩散泵可达到低于 10^-10 托的高真空度。
这使它们适用于需要极低压的应用。
7.成本效益高
与相同真空范围内使用的其他类型泵相比,扩散泵的单位抽速成本较低。
这使它们成为工业应用中极具吸引力的选择。
8.流体夹带泵
扩散泵作为流体夹带泵而非气体置换泵运行。
它们利用沸腾流体的蒸汽捕获空气分子,然后将其移动到另一个位置并冷却,以释放被捕获的空气分子。
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