知识 扩散泵的 8 个重要特征是什么?
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

扩散泵的 8 个重要特征是什么?

扩散泵是各种工业应用中必不可少的工具,尤其是那些需要高真空和超高真空的应用。

扩散泵的 8 个重要特征是什么?

扩散泵的 8 个重要特征是什么?

1.高抽速

扩散泵对所有气体的抽气速度都很高。

这使它们成为高真空和超高真空应用的理想选择。

扩散泵的抽速范围为 10^-2 至 10^-10 托。

2.无活动部件

扩散泵没有活动部件,因此耐用可靠。

这一特点消除了维护需求,降低了机械故障的风险。

3.操作原理简单

扩散泵的操作非常简单。

它主要依靠两个元件:扩散泵油和加热器。

加热器将油加热到沸腾温度,上升的油蒸气被压缩到一个垂直的锥形喷嘴中。

倾斜的喷射口形成一个蒸汽伞,捕捉空气分子。

4.自动抽真空

扩散泵的操作是自动和联锁的。

保温泵用于始终保持扩散泵前线的低压。

这可以防止泵油逆流进入腔室。

5.与各种应用的兼容性

扩散泵广泛应用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等工业领域。

它们用途广泛,可处理各种工艺。

6.高真空能力

扩散泵可达到低于 10^-10 托的高真空度。

这使它们适用于需要极低压的应用。

7.成本效益高

与相同真空范围内使用的其他类型泵相比,扩散泵的单位抽速成本较低。

这使它们成为工业应用中极具吸引力的选择。

8.流体夹带泵

扩散泵作为流体夹带泵而非气体置换泵运行。

它们利用沸腾流体的蒸汽捕获空气分子,然后将其移动到另一个位置并冷却,以释放被捕获的空气分子。

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