扩散泵的重要特征如下：
1.抽气速度高：扩散泵对所有气体的抽气速度都很高，因此适用于高真空和超高真空应用。扩散泵的抽速范围为 10-2 至 10-10 托。
2.无活动部件：扩散泵没有活动部件，因此耐用可靠。这一特点消除了维护需求，降低了机械故障的风险。
3.运行原理简单：扩散泵的运行依赖于两个要素--扩散泵油和加热器。加热器将油加热到沸腾温度，上升的油蒸气被压缩在一个垂直的锥形喷嘴中。倾斜的喷射口形成一个捕获空气分子的蒸汽伞。
4.自动抽真空：扩散泵的操作是自动和联锁的。保温泵用于始终保持扩散泵前线的低压。这可防止泵油逆流进入腔室。
5.与各种应用兼容：扩散泵广泛应用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等工业领域。它们用途广泛，可处理各种工艺。
6.高真空能力：扩散泵可达到低于 10-10 托的高真空度。这使它们适用于需要极低压力的应用。
7.成本效益高：与相同真空范围内使用的其他类型泵相比，扩散泵的单位抽速成本较低。这使它们成为工业应用中一个极具吸引力的选择。
8.流体夹带泵：扩散泵作为流体夹带泵而非气体置换泵运行。它们利用沸腾流体的蒸汽捕获空气分子，然后将其移动到另一个位置并冷却，以释放被捕获的空气分子。
总体而言，扩散泵抽气速度快、经久耐用、操作简单、成本效益高，是各种工业应用中实现高真空度的热门选择。
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