扩散泵的重要特征如下：
1.无活动部件：扩散泵没有任何活动部件，因此耐用可靠。这也意味着发生机械故障的几率较小。
2.压力范围广：扩散泵的工作压力范围很广，从 10-10 到 10-2 毫巴。这使它们适用于各种应用，包括电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。
3.对流驱动：扩散泵由对流驱动，而非机械驱动。这导致能效较低，但操作原理简单。
4.真空抽气：扩散泵具有自动真空抽气功能，并与保持泵联锁。这有助于维持扩散泵前线的低压，防止泵油逆流进入腔室。
5.蒸汽截留：扩散泵利用沸腾流体（通常是油）的蒸汽捕获空气分子。蒸气在带有喷射口的垂直锥形堆栈中被压缩，形成一个捕获空气的蒸气伞。然后将空气分子移动到另一个位置并冷却，使其释放出来。
6.重力和蒸汽流的结合：在扩散泵中，重力和蒸汽的向下方向相结合，有助于将空气分子向泵底部移动。
7.兼容性和阻力：好的扩散泵应具有高耐腐蚀性、高冷凝水兼容性和通用耐化学性。这可确保它能处理各种物质而不会发生降解或损坏。
8.耐用性和低维护率：由于没有活动部件，扩散泵以其耐用性和可靠性著称。它们所需的维护量极少，因此从长远来看具有成本效益。
9.泵送系统集成：扩散泵通常被集成到一个更大的泵送系统中。它们通常在 10 到 1 微米之间启动，与机械泵和增压泵一起工作，以达到较高的真空度。
总体而言，扩散泵为在各种工业应用中实现高真空度提供了可靠、高效的解决方案。扩散泵设计简单、经久耐用、压力范围宽广，因此在许多行业中广受欢迎。
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