扩散泵是许多工业应用中的重要组件，尤其是那些需要高真空度的应用。
扩散泵的 9 个重要特征是什么？
1.无活动部件
扩散泵没有任何活动部件。
这使得它们耐用可靠。
发生机械故障的几率较小。
2.压力范围广
扩散泵的工作压力范围很广，从 10-10 到 10-2 毫巴。
这使它们适用于各种应用。
这些应用包括电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。
3.对流驱动
扩散泵由对流驱动，而非机械驱动。
这导致能效较低。
不过，它的工作原理简单。
4.真空抽气
扩散泵具有自动抽真空功能。
它们与一个保持泵联锁。
这有助于维持扩散泵前线的低压。
它还能防止泵油逆流进入腔室。
5.蒸汽捕集
扩散泵利用沸腾流体（通常是油）的蒸汽捕获空气分子。
水蒸气在带有喷射开口的垂直锥形堆栈中被压缩。
这样就形成了一个捕获空气的蒸汽伞。
然后将空气分子转移到另一个位置并冷却，使其释放出来。
6.重力与蒸汽流的结合
在扩散泵中，重力和蒸汽的向下方向相结合，有助于将空气分子向泵底部移动。
7.兼容性和阻力
好的扩散泵应具有较高的耐腐蚀性。
它还应具有较高的冷凝水兼容性和通用耐化学性。
这可确保它能处理各种物质，而不会发生降解或损坏。
8.耐用性和低维护
由于没有活动部件，扩散泵以耐用和可靠著称。
它们所需的维护量极少，因此从长远来看具有成本效益。
9.泵送系统集成
扩散泵通常集成在一个较大的泵送系统中。
它们通常在 10 到 1 微米之间启动。
它们与机械泵和增压泵一起工作，以达到高真空度。
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