知识 什么是扩散泵?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是扩散泵?需要了解的 5 个要点

扩散泵又称扩散泵,是一种无运动部件的真空泵。

它利用沸腾流体的蒸汽来捕获和移动空气分子。

这种泵被归类为流体夹带泵,有别于使用活塞、翅片或叶片置换空气的机械泵。

需要了解的 5 个要点

什么是扩散泵?需要了解的 5 个要点

1.工作原理

扩散泵依靠高速喷射的蒸汽向真空室中的气体分子进行动量传递。

蒸汽(通常是油基蒸汽)被加热至汽化,然后通过喷嘴高速喷射。

这些喷嘴产生的高速气流将真空室中的气体分子卷起,从而有效降低压力。

2.流体类型

参考文献中提到了扩散泵中使用的两种特定类型的流体:聚苯醚和全氟聚醚。

聚苯醚具有低蒸汽压和抗电子轰击的特点,因此适用于特定的高科技应用。

另一方面,全氟聚醚是一种高度惰性的化合物,因为其富含氟的结构使其能够抵抗各种化学物质和环境因素。

不过,其分解产物具有毒性,需要小心处理。

3.维护和效率

扩散泵的运行相对无需维护,主要需要注意所使用油的质量和水平。

高质量的油可确保最佳性能,并减少频繁维护的需要。

泵的加热系统对于油的汽化至关重要,也必须定期检查,以确保正常运行。

4.应用和性能

扩散泵能够达到 10^-2 至 10^-10 托的高真空度。

这使它们适用于各种工业应用,如电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。

它们的耐用性和可靠性源于没有活动部件,这也简化了它们的操作和维护。

5.独特的设计和操作

扩散泵是制造高真空的坚固而高效的工具。

它利用气化流体的动能夹带气体分子并将其从腔室中抽出。

它的设计和操作有别于机械泵,为各行各业的高真空要求提供了独特的解决方案。

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