射频溅射是一种用于制造薄膜的技术，尤其适用于计算机和半导体行业。
它使用射频 (RF) 波给惰性气体通电，产生正离子撞击目标材料。
这一过程将目标材料分解成细小的喷雾，覆盖在基底上，形成薄膜。
射频溅射与直流溅射在电压、系统压力、溅射沉积模式和使用的目标材料类型方面有所不同。
5 个要点说明：什么是射频溅射？
射频溅射的机理
射频溅射通过无线电频率（通常为 13.56 MHz）和匹配网络提供功率。
这种方法交替使用电势，有助于在每个循环中 "清除 "目标材料表面的电荷积聚。
在正循环中，电子被吸引到靶材上，使其产生负偏压。
在负循环中，离子继续轰击靶材，促进溅射过程。
射频溅射的优势
射频溅射的一个显著优势是能够减少目标材料表面特定位置的电荷积聚。
这种减少有助于最大限度地降低 "赛道侵蚀"，即由于局部电荷积聚而导致靶材侵蚀不均匀的现象。
应用于绝缘材料
射频溅射对沉积绝缘或不导电材料的薄膜特别有效。
与需要导电靶材的直流溅射不同，射频溅射可通过其交变电势有效管理电荷积聚，从而处理非导电材料。
射频磁控溅射
射频磁控溅射是射频溅射的一种特殊形式，用于沉积薄膜，尤其是非导电材料。
在这一过程中，在真空室中使用强力磁铁电离目标材料，促进其在基底上沉积成薄膜。
这种方法提高了溅射过程的效率和控制能力，尤其适用于使用其他技术难以溅射的材料。
总体优势
总体而言，射频溅射是一种多功能、有效的薄膜制造方法，在处理导电和非导电材料方面都具有优势，并能更好地控制沉积过程。
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