说到扫描电子显微镜 (SEM)，选择合适的涂层对于获得最佳效果至关重要。
涂层的类型取决于几个因素，包括所需的分辨率、样品的导电性以及是否计划使用 X 射线光谱。
为 SEM 选择最佳涂层时应考虑的 5 个关键因素
1.分辨率要求
从历史上看，金一直是最常用的涂层材料。这是因为金具有高导电性和较小的晶粒尺寸，非常适合高分辨率成像。
2.导电性要求
对于能量色散 X 射线（EDX）分析，碳通常是首选。这是因为碳的 X 射线峰值不会干扰其他元素，非常适合光谱分析。
3.超高分辨率成像
对于超高分辨率成像，可使用钨、铱和铬等材料。这些材料的晶粒尺寸更细，有助于获得极其精细的图像。
4.可逆性和多功能性
铂、钯和银也可用于 SEM 涂层。尤其是银，它具有可逆性的优点，是各种应用的多用途选择。
5.现代 SEM 功能
在现代扫描电子显微镜中，由于具有低电压和低真空模式等先进功能，对涂层的需求可能会减少。这些模式可以检查非导电样品，并将充电伪影降到最低。
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