SEM 的最佳涂层取决于分析的具体要求,如分辨率、导电性和对 X 射线光谱的需求。从历史上看,金一直是最常用的材料,因为它导电率高、晶粒尺寸小,非常适合高分辨率成像。不过,在能量色散 X 射线(EDX)分析中,碳通常是首选,因为它的 X 射线峰值不会干扰其他元素。
对于超高分辨率成像,钨、铱和铬等材料的晶粒尺寸更细,因此更适合使用。此外还使用铂、钯和银,其中银具有可逆性的优势。在现代扫描电子显微镜中,由于具有低电压和低真空模式等功能,可以在检查非导电样品时将充电伪影降到最低,从而减少了镀膜的需要。
溅射镀膜,尤其是金、铱或铂等金属镀膜,是制备非导电或导电性差的扫描电子显微镜样本的标准方法。这种涂层有助于防止带电、减少热损伤和增强二次电子发射,从而提高图像质量。不过,在使用 X 射线光谱仪时,最好使用碳涂层,以避免干扰其他元素的 X 射线峰。
总之,扫描电子显微镜涂层材料的选择取决于具体应用和分析要求。通常使用金和碳,高分辨率成像首选金,EDX 分析首选碳。钨、铱、铂和银等其他材料则用于满足超高分辨率成像或可逆性等特定需求。
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