基底对薄膜的影响是显著和多方面的。它影响薄膜特性和性能的各个方面。
基底不仅为薄膜沉积提供表面，还在沉积过程中和沉积后与薄膜相互作用。这种相互作用会影响薄膜的结构、质量和功能。
基底对薄膜有何影响？需要考虑的 4 个关键因素
1.对薄膜生长和质量的影响
基底在薄膜生长的初始阶段起着至关重要的作用。在成核和薄膜形成的早期阶段尤其如此。
基底和沉积原子之间的相互作用会影响薄膜的微观结构和附着力。
例如，惰性气体的电离和基底周围等离子体的穿透会导致离子轰击。这可以提高原子的附着力和堆积密度，从而提高薄膜的质量。
基底的特性，如化学成分、表面粗糙度和温度，会对成核和生长过程产生重大影响。这将导致薄膜特性的变化。
2.对薄膜特性的影响
基底也会影响薄膜的电气、光学和机械特性。
例如，薄膜的导电性会受到基底尺寸效应的影响。薄膜中电荷载流子的平均自由路径较短，再加上缺陷和晶界散射的增加，会降低导电性。
当基底引入额外的散射中心或改变薄膜的微观结构时，这种效应尤为明显。
3.沉积过程中的作用
基底的选择及其特性可决定最有效的沉积技术和参数。
例如，沉积速率和基底温度是必须仔细控制的关键参数。这样才能确保均匀的薄膜厚度和理想的薄膜特性。
基底温度尤其会影响表面吸附物种的流动性。这会影响薄膜的生长模式和结构。
在某些情况下，基底加热或冷却可能是优化薄膜特性所必需的。这凸显了基底在沉积过程中的积极作用。
4.增强表面特性
沉积在基底上的薄膜通常用于增强块状材料的表面特性。
通过选择适当的基底和沉积技术，可以赋予材料表面特定的特性，如更高的导电性、耐腐蚀性、光学反射率或更高的硬度。
这种定制在从电子到涂层等各种应用中都至关重要，因为在这些应用中，表面功能与主体材料特性同等重要。
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