扩散泵的功能是利用气化流体的动能从腔室中夹带并去除气体分子，从而创造出高真空环境。与使用运动部件置换空气的机械泵不同，扩散泵的工作原理是使流体（通常是油）气化，然后捕获空气分子并将其输送到一个较冷的区域并释放出来。这一过程依靠蒸汽流的动量和冷却效果来有效地抽空腔体。
详细说明：
-
工作原理：
-
扩散泵的工作原理是流体夹带，即沸腾流体的蒸汽捕获空气分子。这与机械泵不同，机械泵使用活塞或叶片等物理机制将空气推出腔室。在扩散泵中，流体（通常指油）被加热直至汽化。然后，高速蒸汽流与腔室中的气体分子相互作用，有效地将它们扫向出口。气体去除机制：
-
汽化后的流体携带着夹带的气体分子，移动到泵的一个较冷的部分，在那里冷凝。冷凝释放出捕获的气体分子，然后从系统中排空。重力和蒸汽的定向流动相结合，有助于引导气体分子流向泵的底部，从而提高抽真空过程的效率。
-
高真空能力：
-
扩散泵能够达到非常低的压力，范围在 10-2 到 10-10 托之间。这种高真空能力使其适用于各种工业应用，如电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。扩散泵中没有活动部件，因此非常耐用可靠。操作要求：
虽然扩散泵本身没有活动部件，但在闲置期间需要一个前级泵来维持系统中的低压。当扩散泵工作时，前级泵是隔离的，其主要功能是协助维持必要的真空条件。
