扩散泵是用于创造高真空环境的重要设备。
它通过利用气化流体的动能来夹带和去除真空室中的气体分子。
与使用运动部件置换空气的机械泵不同，扩散泵是通过汽化流体（通常是油）来工作的。
然后，这种蒸汽会捕获空气分子，并将它们输送到一个较冷的区域，然后释放出来。
该过程依靠蒸汽流的动力和冷却效果来有效地抽空腔体。
扩散泵的功能是什么？需要了解的 5 个要点
1.运行原理
扩散泵的工作原理是流体夹带。
沸腾流体的蒸汽会捕获空气分子。
这与机械泵不同，后者使用活塞或叶片等物理机制将空气推出腔体。
在扩散泵中，流体（通常指油）被加热直至汽化。
然后，高速蒸汽流与腔室中的气体分子相互作用，有效地将它们扫向出口。
2.气体去除机制
汽化后的流体携带着夹带的气体分子，移动到泵的一个较冷的部分，在那里凝结。
冷凝释放出捕获的气体分子，然后从系统中排空。
重力和蒸汽的定向流动相结合，有助于引导气体分子流向泵的底部，从而提高排空过程的效率。
3.高真空能力
扩散泵能够实现 10-2 至 10-10 托的超低压。
这种高真空能力使其适用于各种工业应用，如电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。
扩散泵中没有活动部件，因此非常耐用可靠。
4.运行要求
尽管扩散泵本身没有活动部件，但在闲置期间，它们需要一个前级泵来维持系统中的低压。
当扩散泵工作时，前级泵是隔离的，其主要功能是协助维持必要的真空条件。
5.维护和设计
扩散泵的维护相对简单，重点是确保油位正确和加热元件正常工作。
其设计通常包括一个使油蒸发的加热系统，这些部件的精确对准对于高效运行至关重要。
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