用于扫描电子显微镜（SEM）的金属涂层通常包括一层超薄导电金属层，如金（Au）、金/钯（Au/Pd）、铂（Pt）、银（Ag）、铬（Cr）或铱（Ir）。这一过程被称为溅射镀膜，对于不导电或导电性差的标本至关重要，可防止带电，并通过提高信噪比来提高图像质量。
详细说明：
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金属镀膜的目的：
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在扫描电子显微镜中，金属涂层适用于不导电或导电性差的试样。这是必要的，因为此类试样会积累静电场，导致充电效应，从而扭曲图像并干扰电子束。在样品上镀上导电金属后，这些问题就会得到缓解，从而获得更清晰、更准确的成像。使用的金属类型
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- 最常用的溅射镀膜金属是金，因为它具有高导电性和小晶粒尺寸，非常适合高分辨率成像。根据分析的具体要求或对超高分辨率成像的需要，也会使用铂、银和铬等其他金属。例如，铂金因其二次电子产率高而经常被使用，而银则具有可逆性的优势，这在某些实验设置中非常有用。金属涂层的优点：
- 减少光束损伤： 金属镀膜可以保护样品免受电子束的损伤，这对于对电子束敏感的材料尤为重要。
- 增强热传导： 这有助于驱散电子束产生的热量，防止样品受到热损伤。
- 改善二次电子发射： 金属镀膜可增强二次电子的发射，这对扫描电子显微镜的成像至关重要。这使得信噪比更高，图像更清晰。
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减少光束穿透，提高边缘分辨率： 金属涂层可减少电子束穿透样品的深度，提高样品特征边缘的分辨率。
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涂层厚度：
溅射金属膜的厚度通常在 2 纳米到 20 纳米之间。最佳厚度取决于样品的具体特性和 SEM 分析的要求。例如，较薄的涂层可能足以减少充电效应，而较厚的涂层则可能需要更好的边缘分辨率或更高的二次电子产率。
在各种样品中的应用：
