说到扫描电子显微镜（SEM），金属涂层起着至关重要的作用。
这一过程包括涂上一层超薄的导电金属，如金 (Au)、金/钯 (Au/Pd)、铂 (Pt)、银 (Ag)、铬 (Cr) 或铱 (Ir)。
这就是所谓的溅射镀膜。
这对于非导电或导电性差的试样至关重要，可防止带电，并通过提高信噪比来改善图像质量。
什么是 SEM 的金属涂层？(五大要点解析）
1.金属涂层的目的
在 SEM 中，金属涂层用于不导电或导电性差的试样。
这是必要的，因为这类试样会积累静电场，导致充电效应，从而扭曲图像并干扰电子束。
给样品镀上导电金属后，这些问题就会得到缓解，从而获得更清晰、更准确的成像。
2.使用的金属类型
最常用的溅射镀膜金属是金，因为它具有高导电性和小晶粒尺寸，非常适合高分辨率成像。
根据分析的具体要求或对超高分辨率成像的需要，也会使用铂、银和铬等其他金属。
例如，铂因其二次电子产率高而经常被使用，而银则具有可逆性的优势，这在某些实验设置中非常有用。
3.金属涂层的优点
- 减少光束损伤： 金属镀膜可以保护样品免受电子束的损伤，这对于对电子束敏感的材料尤为重要。
- 增强热传导： 这有助于散发电子束产生的热量，防止样品受到热损伤。
- 改善二次电子发射： 金属镀膜可增强二次电子的发射，这对扫描电子显微镜的成像至关重要。这使得信噪比更高，图像更清晰。
- 减少光束穿透，提高边缘分辨率： 金属涂层可减少电子束穿透样品的深度，从而提高样品特征边缘的分辨率。
4.涂层厚度
溅射金属膜的厚度通常在 2 纳米到 20 纳米之间。
最佳厚度取决于样品的具体特性和 SEM 分析的要求。
例如，较薄的涂层可能足以减少充电效应，而较厚的涂层可能需要更好的边缘分辨率或更高的二次电子产率。
5.在各种样品中的应用
扫描电镜可对多种材料成像，包括陶瓷、金属、半导体、聚合物和生物样品。
但是，非导电材料和对光束敏感的材料通常需要溅射涂层才能获得高质量的成像。
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