扩散泵的极限真空度可达 10^-6 托。这种高真空度是通过使用油扩散泵实现的，该泵在运行时没有移动部件，利用油的汽化和冷凝来捕获和抽取气体分子，从而创造出高真空环境。
说明：
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工作原理:扩散泵的工作原理是油的汽化，然后在下落过程中凝结。这一过程有助于捕获和抽取气体分子，从而产生高真空。扩散泵中没有活动部件，因此更加耐用可靠，适用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等各种工业应用。
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真空度:扩散泵能够产生 10^-2 到 10^-10 托的高真空。当机械泵的压力低于 20 托时，其效率就会下降，这就需要使用增压泵，并最终使用扩散泵来达到所需的真空度。
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系统配置:扩散泵通常是多级真空系统的一部分，该系统包括一个机械泵和一个保持泵。保温泵可确保在机械泵和扩散泵之间的交叉阀启动时，扩散泵中的油不会逸出到容器中。这种设置对于保持扩散泵达到的真空度的完整性至关重要。
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在熔炉中的应用:在真空炉等工业应用中，使用扩散泵可以显著提高真空度。例如，与不使用扩散泵的 50-60 微米汞柱相比，配备扩散泵的真空炉可达到 10^-5 托的工作真空。这种较高的真空度对于需要非常洁净和受控的环境、不受大气污染物影响的工艺来说至关重要。
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极限真空:扩散泵式真空炉的极限真空通常在 10^-6 托范围内，大大低于仅使用机械泵所能达到的极限真空。这种真空度对于确保高精度工业过程的正常运行和效率至关重要。
总之，扩散泵真空度的特点是能够达到极低的压力，通常在 10^-6 托的范围内，这对于需要非常洁净和受控环境的高精度工业应用来说至关重要。
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