扩散泵的极限真空度可达 10^-6 托。
这种高真空度是通过使用油扩散泵实现的。
这种泵在工作时没有移动部件，利用油的汽化和冷凝来捕获和抽取气体分子。
因此，它能创造出一个高真空环境。
什么是扩散泵的真空度？5 个关键要点
1.工作原理
扩散泵的工作原理是使油蒸发。
油在下落过程中凝结。
这一过程有助于捕获和抽取气体分子，从而产生高真空。
扩散泵中没有活动部件，这增强了其耐用性和可靠性。
因此，它适用于各种工业应用，如电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。
2.真空度
扩散泵能够产生 10^-2 到 10^-10 托的高真空。
这一范围大大低于仅靠机械泵所能达到的真空度。
机械泵的工作压力通常低至 10^-2 Pa 左右。
当机械泵的压力低于 20 托时，其效率就会下降。
这就需要使用增压泵，并最终使用扩散泵来达到所需的真空度。
3.系统配置
扩散泵通常是多级真空系统的一部分。
该系统包括一个机械泵和一个保持泵。
保温泵可确保在机械泵和扩散泵之间的交叉阀启动时，扩散泵中的油不会逸出到容器中。
这种设置对于保持扩散泵达到的真空度的完整性至关重要。
4.在熔炉中的应用
在真空炉等工业应用中，使用扩散泵可以显著提高真空度。
例如，配备扩散泵的真空炉可以达到 10^-5 托的工作真空。
而不使用扩散泵时的真空度为 50-60 微米汞柱。
这种较高的真空度对于需要非常洁净和受控的环境、不受大气污染物影响的工艺来说至关重要。
5.极限真空
扩散泵式真空炉的极限真空通常在 10^-6 托范围内。
这大大低于仅使用机械泵所能达到的真空度。
这种真空度对于确保高精度工业过程的正常运行和效率至关重要。
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