要达到高真空，通常需要组合使用多种泵。
高真空度的主要选择通常是涡轮分子泵或油扩散泵。
这些泵设计用于实现极低的压力，通常与前置泵配合使用。
前级泵，如旋片泵或干式涡旋泵，有助于创造高真空泵有效运行所需的初始真空条件。
您需要了解的 5 个基本事实
1.涡轮分子泵
涡轮分子泵专门设计用于在非常高的真空度下工作，通常低于 10^-7 毫巴。
其工作原理是利用旋转叶片向气体分子传递与气体流动方向相反的动量。
这样就能有效地将气体抽出系统，使这些泵在去除气体方面具有很高的效率。
涡轮分子泵通常用于需要超高真空的应用领域，如半导体制造、科学研究和太空模拟室。
2.油扩散泵
油扩散泵是另一种用于高真空应用的泵。
它们的工作原理是将高速喷射的油蒸气射向室壁。
油蒸气随后冷凝并返回锅炉，而腔室中的气体分子则被推向出口，并在那里被收集和去除。
这些泵的真空度可低至 10^-7 毫巴，通常用于需要高真空的科学和工业应用领域。
3.前级泵
涡轮分子泵和油扩散泵都需要一个前级泵才能有效工作。
前级泵，如旋片泵，可在高真空泵的入口处产生粗真空。
然后，高真空泵将粗真空进一步细化，以达到所需的超低压。
4.泵的组合
在高真空应用中，涡轮分子泵或油扩散泵与前级泵的组合使用至关重要。
在各种需要高真空条件的科学和工业过程中，这种设置至关重要。
5.应用
高真空装置在许多领域都至关重要，包括半导体制造、科学研究和空间模拟室。
这些装置可确保最苛刻应用的精度和可靠性。
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