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为了达到高真空，通常会使用泵的组合，涡轮分子泵或油扩散泵是高真空度的主要选择。这些泵专门用于实现极低的压力，通常与旋片泵或干式涡旋泵等前级泵串联使用。
涡轮分子泵：
涡轮分子泵设计用于在非常高的真空度下运行，通常低于 10^-7 毫巴。其工作原理是利用旋转叶片向气体分子传递与气体流动方向相反的动量，从而有效地将气体抽出系统。这些泵在去除气体方面效率很高，通常用于需要超高真空的应用中，如半导体制造、科学研究和太空模拟室。油扩散泵：
油扩散泵是另一种用于高真空应用的泵。其工作原理是将高速喷射的油蒸气射向室壁，油蒸气凝结后返回锅炉。腔室中的气体分子被油蒸汽喷流推向出口，并在那里被收集和去除。这些泵的真空度可低至 10^-7 毫巴，通常用于需要高真空的科学和工业应用领域。
涡轮分子泵和油扩散泵都需要一个前级泵（如旋片泵）来维持入口处足够低的压力，以便有效发挥作用。前级泵产生粗真空，然后由高真空泵进一步精炼，以达到所需的超低压。
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