在真空应用中,选择何种类型的泵至关重要。这取决于应用的具体要求,如所需的真空度和工艺的性质。
4 种真空泵类型详解:哪一种适合您的应用?
旋片泵
旋片泵广泛用于真空炉。它们可以达到约 5x10-2 毫巴的真空度。这些泵通过使用一组旋转和固定的叶片来捕获和排出空气,从而产生真空。它们以可靠性著称,常用于粗真空应用中。
罗茨泵
罗茨泵也称为机械增压泵,通常与其他真空泵配合使用以提高性能。它们能够在相对较高的压力下处理大量气体,因此适用于需要快速抽空大量气体的应用场合。
油扩散泵
油扩散泵能够达到非常高的真空度,通常在 10-5 到 10-7 毫巴之间。它们的工作原理是将油蒸汽高速喷射到腔室壁上,油蒸汽凝结后返回锅炉,而气体分子则被喷射的油蒸汽带走。这些泵通常用于高真空应用。
涡轮分子泵
涡轮分子泵设计用于实现超高真空度,通常低于 10-9 毫巴。其工作原理是利用一系列快速旋转的叶片向气体分子传递动量,从而有效地将它们 "抛 "出真空室。这些泵非常适合半导体制造等需要极高真空度的应用。
选择真空泵时,必须考虑所需的真空度、流量和应用的具体需求等因素。例如,如果应用需要粗真空(超过 1 毫巴),隔膜泵因其无油操作和低维护要求而可能比较合适。相反,对于高真空或超高真空应用,油扩散泵或涡轮分子泵则更为合适。
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