扩散泵的优点包括：由于没有活动部件，因此耐用可靠；能够产生高真空度（从 10^-2 到 10^-10 托）；操作简单。这些泵适用于各种工业应用，如电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。扩散泵的设计原理是通过加热油来产生蒸汽，从而捕获空气并在底部释放出来，因此无需复杂的机械部件即可确保高效运行。
扩散泵的缺点主要围绕其操作要求和局限性。它们需要专门的维护，包括使用扩散泵油和加热器，如果管理不当，会造成操作复杂性和油逆流的可能性。此外，还需要一个保持泵来维持扩散泵前线的低压，并对真空阀进行适当排序以防止油回流，这些都增加了操作的复杂性。这种设置可能需要更仔细的监测和控制，以确保最佳性能并防止真空室受到污染。
总之，虽然扩散泵具有强大的性能和高真空能力，但需要对其运行参数进行仔细管理，以防止油回流等问题，并长期保持其有效性。对特定操作顺序和额外设备（如保温泵）的依赖会增加其使用和维护的复杂性。
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