扩散泵中使用的流体，特别是聚苯醚和全氟聚醚，具有蒸汽压力低、耐降解和化学惰性强的特点。聚苯醚的显著特点是蒸气压低、耐电子轰击，因此适用于高真空应用。另一方面，全氟聚醚对氧气、卤素和酸具有高度惰性，分解为气体时不会影响主流体，但分解后会产生毒性。
聚苯醚
选择聚苯醚是因为它的蒸气压非常低，这对于在扩散泵中保持高真空至关重要。其抗电子轰击性在泵可能暴露于高能粒子的环境中尤为有利，例如在电子束显微镜或真空沉积过程中。虽然价格比硅油贵，但其性能特点使其成为需要高真空和电子轰击下稳定性的特定应用的首选。全氟聚醚：
全氟聚醚是一种碳氢化合物中所有氢原子都被氟原子取代的流体，因此分子量更大，化学稳定性更强。这种流体对氧气、卤素和酸等许多侵蚀性化学物质具有惰性，因此非常适合在可能存在此类物质的环境中使用。它在分解时会分解成气体，从而确保主流体保持完好无损，不过产生的气体有毒，需要小心处理和控制。
扩散泵的一般注意事项：
在为扩散泵选择流体时，必须考虑油的质量，以确保最佳性能和最少的维护。高质量的油有助于达到所需的真空度（从 10-2 到 10-10 托），对于电子束显微镜、真空沉积和真空炉等应用至关重要。扩散泵操作简单，没有活动部件，因此耐用可靠，所需的维护主要集中在保持适当的油位和确保加热器的功能。
化学兼容性和维护：
