说到扩散泵，所用流体的类型对于维持高真空度和确保设备的使用寿命至关重要。
1.低蒸汽压和抗降解性
扩散泵使用的流体（如聚苯醚和全氟聚醚）具有蒸汽压低和耐降解的特点。
聚苯醚尤其以其极低的蒸气压而著称，而蒸气压对维持高真空度至关重要。
聚苯醚的抗电子轰击性使其非常适合用于存在高能粒子的环境，如电子束显微镜或真空沉积工艺。
2.化学惰性
全氟聚醚对氧气、卤素和酸具有高度惰性，因此适用于可能存在这些物质的环境。
这种流体分解成气体时不会影响主流体，但产生的气体有毒，需要小心处理和控制。
3.高真空应用中的性能
在需要高真空和在电子轰击下保持稳定的特定应用中，聚苯醚是首选，尽管它比硅油昂贵。
4.扩散泵的一般注意事项
在为扩散泵选择流体时，必须考虑油的质量，以确保最佳性能和最少的维护。
高质量的油有助于达到所需的真空度（10-2 至 10-10 托），对于电子束显微镜、真空沉积和真空炉等应用至关重要。
扩散泵操作简单，没有活动部件，因此耐用可靠，所需的维护主要集中在保持适当的油位和确保加热器的功能上。
5.化学兼容性和维护
流体的选择还取决于与通过泵的蒸汽的化学兼容性。
干式无油泵具有耐腐蚀和易于维护的优点。
扩散泵的维护非常简单，只需检查油位是否正确以及加热器的运行情况。
加热元件的正确对准至关重要，但在狭窄的空间内可能会遇到困难。
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