磁控溅射是一种物理气相沉积 (PVD),涉及使用磁场来增强溅射过程。
这种方法特别适用于沉积薄膜,而无需熔化或蒸发源材料。
它适用于多种材料和基底。
什么是磁控溅射沉积法?需要了解的 4 个要点
1.磁控溅射的机理
在磁控溅射中,目标材料被置于真空室中。
靶材受到高能粒子(通常来自氩气等惰性气体)的轰击。
磁场垂直于电场。
该磁场会捕获靶表面附近的电子,形成一个致密的等离子体区域。
高密度等离子体增强了溅射气体的电离,从而提高了靶材的喷射率。
2.磁控溅射的优点
高沉积率: 磁场的使用大大提高了材料从靶材溅射出来的速度,使整个过程更加高效。
与各种材料兼容: 由于源材料无需熔化或蒸发,磁控溅射可用于多种材料,包括金属、合金和化合物。
热负荷最小: 该工艺不会使基底承受高温,这对热敏材料非常有利。
3.磁控溅射的应用
磁控溅射广泛应用于各行各业在基底上沉积薄膜。
其应用包括微电子涂层、改变材料性能以及为产品添加装饰膜。
它还用于生产建筑玻璃和其他大规模工业应用。
4.磁控溅射的变化
磁控溅射有多种变化,包括直流(DC)磁控溅射、脉冲直流溅射和射频(RF)磁控溅射。
每种变化都适用于不同的材料和应用。
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