知识 什么是氧化物材料的射频溅射?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是氧化物材料的射频溅射?需要了解的 5 个要点

射频溅射是一种专门的沉积技术,主要用于绝缘材料,如各种氧化物。

这种方法对这些材料非常有效,因为它在较低的腔室压力下运行,并使用射频(RF)功率而不是直流(DC)功率。

使用射频功率可防止目标材料上的电荷积聚,这是直流溅射处理介电或非导电材料时的常见问题。

了解射频溅射氧化物材料的 5 个要点

什么是氧化物材料的射频溅射?需要了解的 5 个要点

1.射频功率和频率

射频溅射过程包括使用射频功率(通常为 13.56 MHz 的固定频率)在目标材料上产生交变电动势。

2.交变电势

在射频正循环期间,电子被吸引到靶材上,使其产生负偏压,从而有效清除表面的电荷积聚。

在负循环期间,离子继续轰击靶材,促进溅射过程。

这种交替循环可确保目标材料不会积聚静电荷,这对绝缘材料至关重要,否则会产生极化。

3.半导体行业的应用

射频溅射广泛应用于计算机和半导体行业,用于在金属表面沉积氧化铝、氧化钽和氧化硅等绝缘氧化物薄膜。

这些涂层对于微芯片电路的制造至关重要,因为它们是导电材料层之间的绝缘体。

4.减少赛道腐蚀

射频溅射因其能够减少目标材料表面的 "赛道侵蚀 "而得到认可,这是其他溅射技术的常见问题。

这种能力提高了沉积薄膜的均匀性和质量。

5.光学应用

在光学领域,射频溅射也被用于制造光学平面波导和光子微腔。

该技术能在较低的基底温度下生成高质量的薄膜,因此是一种多功能且经济高效的方法,可用于沉积具有可控折射率和厚度的不同材料交替层。

这使得射频溅射成为制作一维光子晶体和平面波导的理想选择,因为在这些应用中,均匀性和质量是至关重要的。

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